> Produktai > Tantalo karbido danga

Produktai

Nauji produktai

Kinija Tantalo karbido danga Gamintojas, tiekėjas, gamykla

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.

Pagrindiniai produktai yraTantalo karbido dangos defektoriaus žiedas, TaC padengtas nukreipimo žiedas, TaC dengtos pusmėnulio dalys, tantalo karbidu padengtas planetinis sukimosi diskas (Aixtron G10), TaC padengtas tiglis; TaC padengti žiedai; TaC padengtas akytasis grafitas; Tantalo karbido dangos grafito susceptorius; TaC padengtas kreipiamasis žiedas; Tantalo karbidu padengta TaC plokštė; TaC padengtas plokštelinis susceptorius; TaC dangos žiedas; TaC dangos grafito danga; TaC padengtas gabalasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.

TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.

Pagrindinės savybės:

●Temperatūros stabilumas

●Itin aukšto grynumo

●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

●Atsparumas šiluminiam poveikiui

●Stiprus sukibimas su grafitu

●Konforminės dangos padengimas

● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)

Programos:

●Vaflių laikiklis

● Indukcinis šildymo jutiklis

● Varžinis kaitinimo elementas

●Palydovinis diskas

●Dušo galvutė

●Vadovo žiedas

●LED Epi imtuvas

●Įpurškimo antgalis

●Maskuojantis žiedas

● Šilumos skydas

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitasis spinduliavimas	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10^-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10^-5Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)

TaC dangos EDX duomenys：

EDX data of TaC coating

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas	Atominis procentas
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Vidutinis
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC dangos griebtuvas TaC dangos planetinis diskas TaC dengta plokštė TaC dangos sukimosi plokštė TaC dangos imtuvas CVD TaC danga CVD TaC dangos žiedas TaC dangos plokštė

View as

Tantalo karbidu padengtas žiedas

Kaip profesionalus tantalo karbidu padengtų žiedų novatorius ir lyderis Kinijoje, „VeTek“ puslaidininkinis tantalo karbidu padengtas žiedas vaidina nepakeičiamą vaidmenį SiC kristalų augime, pasižymintis puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumu dilimui ir puikiu šilumos laidumu. Sveikiname jūsų tolesnę konsultaciją.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Porėtas tantalo karbidas

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus poringo tantalo karbido gaminių gamintojas ir lyderis Kinijoje. Poringas tantalo karbidas paprastai gaminamas cheminio nusodinimo garais (CVD) metodu, užtikrinančiu tikslią jo porų dydžio ir pasiskirstymo kontrolę, ir yra medžiaga, skirta ekstremalioms aukštos temperatūros aplinkoms. Sveikiname jūsų tolesnę konsultaciją.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Tantalo karbido žiedas

Kaip pažangus tantalo karbido žiedo gaminių gamintojas ir gamintojas Kinijoje, „VeTek Semiconductor“ tantalo karbido žiedas pasižymi ypač dideliu kietumu, atsparumu dilimui, atsparumu aukštai temperatūrai ir cheminiam stabilumui ir yra plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos srityje. Ypač CVD, PVD, jonų implantavimo, ėsdinimo, plokštelių apdorojimo ir transportavimo procese tai yra nepakeičiamas produktas puslaidininkių apdorojimui ir gamybai. Lauksime tolesnės konsultacijos.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Tantalo karbido dangos atrama

Kaip profesionalus tantalo karbido dangos palaikymo gaminių gamintojas ir gamykla Kinijoje, „VeTek Semiconductor“ tantalo karbido dangos atrama paprastai naudojama puslaidininkinės įrangos konstrukcinių komponentų arba atraminių komponentų paviršiui padengti, ypač pagrindinių įrangos komponentų paviršiaus apsaugai puslaidininkių gamybos procesuose, pvz. CVD ir PVD. Sveikiname jūsų tolesnę konsultaciją.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Tantalo karbido kreipiamasis žiedas

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus tantalo karbido kreipiamojo žiedo gaminių gamintojas ir lyderis Kinijoje. Mūsų tantalo karbido (TaC) kreipiamasis žiedas yra didelio našumo žiedo komponentas, pagamintas iš tantalo karbido, kuris dažniausiai naudojamas puslaidininkių apdorojimo įrangoje, ypač aukštos temperatūros ir labai korozinėje aplinkoje, pvz., CVD, PVD, ėsdinimo ir difuzijos. „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir gaminių sprendimus puslaidininkių pramonei, todėl laukia jūsų tolesnių užklausų.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC dangos sukimosi susceptorius

Kaip profesionalus „TaC Coating Rotation Susceptor“ gaminių gamintojas, novatorius ir lyderis Kinijoje. „VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor“ paprastai įrengiamas cheminio garų nusodinimo (CVD) ir molekulinio pluošto epitaksijos (MBE) įrangoje, kad būtų galima palaikyti ir pasukti plokšteles, kad būtų užtikrintas vienodas medžiagos nusodinimas ir efektyvi reakcija. Tai yra pagrindinis puslaidininkių apdorojimo komponentas. Sveikiname jūsų tolesnę konsultaciją.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

<1 2 3 4 5...9 >

Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kurios atitiktų konkrečius jūsų regiono poreikius, ar norite įsigyti pažangių ir patvarių Tantalo karbido danga, pagamintų Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.