Oksidacijos ir difuzijos krosnys naudojamos įvairiose srityse, tokiose kaip puslaidininkiniai įrenginiai, diskretieji įrenginiai, optoelektroniniai įrenginiai, galios elektroniniai prietaisai, saulės elementai ir didelio masto integrinių grandynų gamyba. Jie naudojami procesams, įskaitant difuziją, oksidaciją, atkaitinimą, legiravimą ir plokštelių sukepinimą.
VeTek Semiconductor yra pirmaujanti gamintojas, kurio specializacija yra didelio grynumo grafito, silicio karbido ir kvarco komponentų oksidacijos ir difuzijos krosnyse gamyba. Esame įsipareigoję tiekti aukštos kokybės krosnių komponentus puslaidininkių ir fotovoltinės energijos pramonei ir esame paviršių dengimo technologijų, tokių kaip CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbonas ir kt., priešakyje.
Atsparumas aukštai temperatūrai (iki 1600 ℃)
Puikus šilumos laidumas ir šiluminis stabilumas
Geras atsparumas cheminei korozijai
Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas
Didelis stiprumas ir kietumas
Ilgas tarnavimo laikas
Oksidacinėse ir difuzinėse krosnyse dėl aukštos temperatūros ir korozinių dujų daugelio komponentų reikia naudoti aukštai temperatūrai ir korozijai atsparias medžiagas, tarp kurių dažniausiai naudojamas silicio karbidas (SiC). Toliau pateikiami įprasti silicio karbido komponentai, randami oksidacijos ir difuzijos krosnyse:
Vaflių valtis
Silicio karbido plokštelių valtis yra talpykla, naudojama silicio plokštelėms nešti, kuri gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir nereaguoti su silicio plokštelėmis.
Krosnies vamzdis
Krosnies vamzdis yra pagrindinė difuzinės krosnies sudedamoji dalis, naudojama silicio plokštelėms talpinti ir reakcijos aplinkai valdyti. Silicio karbido krosnių vamzdžiai pasižymi puikiomis aukštos temperatūros ir atsparumo korozijai savybėmis.
Atraminė plokštė
Naudojamas oro srautui ir temperatūros pasiskirstymui krosnyje reguliuoti
Termoporos apsauginis vamzdis
Naudojamas temperatūros matavimo termoporų apsaugai nuo tiesioginio kontakto su korozinėmis dujomis.
Konsolinis irklas
Silicio karbido konsolinės mentelės yra atsparios aukštai temperatūrai ir korozijai, yra naudojamos silicio laiveliams arba kvarciniams laiveliams, gabenantiems silicio plokšteles, transportuoti į difuzinės krosnies vamzdžius.
Dujų purkštukas
Naudojamas reakcijos dujoms įvesti į krosnį, jos turi būti atsparios aukštai temperatūrai ir korozijai.
Valčių vežėjas
Silicio karbido plokštelių laikiklis naudojamas tvirtinti ir palaikyti silicio plokšteles, kurios turi tokius privalumus kaip didelis stiprumas, atsparumas korozijai ir geras konstrukcijos stabilumas.
Krosnies durys
Silicio karbido dangos arba komponentai taip pat gali būti naudojami krosnies durelių viduje.
Kaitinantis elementas
Silicio karbido kaitinimo elementai yra tinkami aukštai temperatūrai, didelei galiai ir gali greitai pakelti temperatūrą iki daugiau nei 1000 ℃.
SiC įdėklas
Naudojamas vidinei krosnies vamzdžių sienelei apsaugoti, jis gali padėti sumažinti šilumos energijos nuostolius ir atlaikyti atšiaurią aplinką, pavyzdžiui, aukštą temperatūrą ir aukštą slėgį.
„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis didelio grynumo SiC konsolinių irklų gamintojas ir novatorius Kinijoje. Didelio grynumo SiC konsolinės mentelės dažniausiai naudojamos puslaidininkinėse difuzinėse krosnyse kaip plokštelių perdavimo arba pakrovimo platformos. „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąKaip profesionalus vertikalios kolonos plokštelių valčių ir pjedestalo gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, „Vetek Semiconductor“ vertikalios kolonos plokštelių valtis ir pjedestalas yra pagamintas iš didelio grynumo kvarco arba silicio anglies keramikos (SiC) medžiagų, pasižyminčių puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, cheminiu stabilumu ir mechaniniu stiprumu. , ir yra nepakeičiamas pagrindinis puslaidininkių gamybos proceso komponentas. Sveiki atvykę į tolesnę konsultaciją.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Vetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat“ yra pažangi puslaidininkių apdorojimo įranga. „Contiguous Wafer Boat“ gaminio struktūra yra kruopščiai sukurta siekiant užtikrinti efektyvų precizinių plokštelių apdorojimą ir gamybą. „Vetek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti puikias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus TaC dengto kreipiamojo žiedo, horizontalaus SiC plokštelių laikiklio ir SiC dengtų susceptorių gamintojas ir tiekėjas Kinijoje. Esame įsipareigoję teikti tobulą techninę pagalbą ir galutinius produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Sveiki atvykę į mus susisiekti.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor's SiC Wafer Boat“ yra labai aukštos kokybės produktas. Mūsų SiC Wafer Boat paprastai naudojamas puslaidininkių oksidacijos difuzijos krosnyse, siekiant užtikrinti, kad temperatūra būtų tolygiai paskirstyta ant plokštelės ir pagerinti silicio plokštelių apdorojimo kokybę. Aukštos temperatūros stabilumas ir didelis SiC medžiagų šilumos laidumas užtikrina efektyvų ir patikimą puslaidininkių apdorojimą. Esame įsipareigoję teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ teikia didelio našumo SiC proceso vamzdžius puslaidininkių gamybai. Mūsų SiC proceso vamzdžiai pasižymi oksidacijos, difuzijos procesais. Dėl aukščiausios kokybės ir meistriškumo šie vamzdžiai užtikrina stabilumą aukštoje temperatūroje ir šilumos laidumą, kad būtų galima efektyviai apdoroti puslaidininkius. Mes siūlome konkurencingas kainas ir siekiame būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą