Tantalo karbidu padengtas žiedas

„VeTek“ puslaidininkinis tantalo karbidu padengtas žiedas yra pagamintas išgrafitasir padengtas tantalo karbidu – deriniu, kuris išnaudoja geriausias abiejų medžiagų savybes, kad būtų užtikrintas puikus veikimas ir ilgaamžiškumas. 

Tantalo karbido dangos žiedo TaC danga užtikrina, kad ji išliktų chemiškai inertiška SiC kristalų auginimo krosnių reaktyviose atmosferose, kuriose dažnai būna tokių dujų kaip vandenilis, argonas ir azotas. Šis cheminis inertiškumas yra gyvybiškai svarbus siekiant išvengti bet kokio augančio kristalo užteršimo, dėl kurio gali atsirasti defektų ir sumažėti galutinių puslaidininkių gaminių veikimas. Be to, TaC dangos suteikiamas šiluminis stabilumas leidžia tantalo karbido dangos žiedui efektyviai veikti esant aukštai temperatūrai, reikalingai SiC kristalų augimui, paprastai viršijančiai 2000°C.

Mechaninės TaC savybės labai sumažina tantalo karbido dangos žiedo susidėvėjimą. Tai labai svarbu dėl pasikartojančio kristalų augimo proceso pobūdžio, dėl kurio kreipiamasis žiedas yra veikiamas dažnų šiluminių ciklų ir mechaninių įtempių. TaC kietumas ir atsparumas dilimui užtikrina, kad TaC padengtas žiedas ilgą laiką išlaikys savo struktūrinį vientisumą ir tikslius matmenis, sumažina poreikį dažnai keisti ir sumažina gamybos proceso prastovą. 

Be to, grafito ir TaC derinys tantalo karbido dangos žiede optimizuoja šilumos valdymą kristalų auginimo krosnyje. Didelis grafito šilumos laidumas efektyviai paskirsto šilumą, neleidžia susidaryti karštoms vietoms ir skatina tolygų kristalų augimą. Tuo tarpu TaC danga tarnauja kaip šiluminė barjera, apsauganti grafito šerdį nuo tiesioginio aukštos temperatūros ir reaktyvių dujų poveikio. Ši sinergija tarp šerdies ir dangos medžiagų sukuria kreipiamąjį žiedą, kuris ne tik atlaiko atšiauriasSiC kristalų augimasbet ir pagerina bendrą proceso efektyvumą bei kokybę.

„VeTek“ puslaidininkinis tantalo karbidu padengtas žiedas yra esminis puslaidininkių pramonės komponentas, specialiai sukurtas augtiSilicio karbido kristalai. Jo dizainas išnaudoja grafito ir tantalo karbido stipriąsias puses, kad būtų užtikrintas išskirtinis veikimas aukštos temperatūros ir didelio įtempimo aplinkoje. TaC danga užtikrina cheminį inertiškumą, mechaninį ilgaamžiškumą ir terminį stabilumą – visa tai labai svarbu gaminant aukštos kokybės SiC kristalus. Išlaikant vientisumą ir funkcionalumą ekstremaliomis sąlygomis, žiedas palaiko efektyvų ir be defektų SiC kristalų augimą, taip prisidedant prie didelės galios ir aukšto dažnio puslaidininkinių įrenginių pažangos.

VeTek Semiconductor yra pirmaujanti gamintoja ir tiekėjaTantalo karbido danga, Silicio karbido dangairSpecialus grafitasKinijoje. Mes jau seniai įsipareigojame teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei ir nuoširdžiai tikimės, kad būsime jūsų ilgalaikis partneris Kinijoje.

Tantalo karbido (TaC) dangaant mikroskopinio skerspjūvio：

Apžvalgapuslaidininkinių lustų epitaksijos pramonės grandinė：