„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.
Pagrindiniai produktai yraTantalo karbido dangos defektoriaus žiedas, TaC padengtas nukreipimo žiedas, TaC dengtos pusmėnulio dalys, tantalo karbidu padengtas planetinis sukimosi diskas (Aixtron G10), TaC padengtas tiglis; TaC padengti žiedai; TaC padengtas akytasis grafitas; Tantalo karbido dangos grafito susceptorius; TaC padengtas kreipiamasis žiedas; Tantalo karbidu padengta TaC plokštė; TaC padengtas plokštelinis susceptorius; TaC dangos žiedas; TaC dangos grafito danga; TaC padengtas gabalasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.
TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:
Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.
●Temperatūros stabilumas
●Itin aukšto grynumo
●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si
●Atsparumas šiluminiam poveikiui
●Stiprus sukibimas su grafitu
●Konforminės dangos padengimas
● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)
● Indukcinis šildymo jutiklis
● Varžinis kaitinimo elementas
● Šilumos skydas
TaC dangos fizinės savybės | |
Tankis | 14,3 (g/cm³) |
Savitasis spinduliavimas | 0.3 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas | 6.3 10-6/K |
Kietumas (HK) | 2000 HK |
Atsparumas | 1×10-5Ohm*cm |
Terminis stabilumas | <2500 ℃ |
Keičiasi grafito dydis | -10-20um |
Dangos storis | ≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
Elementas | Atominis procentas | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Vidutinis | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus CVD TaC Coating Crucible gaminių gamintojas ir lyderis Kinijoje. CVD TaC Coating Crucible yra pagamintas iš tantalo anglies (TaC) dangos. Tantalo anglies danga yra tolygiai padengta tiglio paviršiumi cheminio nusodinimo garais (CVD) procesu, kad būtų padidintas jo atsparumas karščiui ir atsparumas korozijai. Tai medžiaga, specialiai naudojama ekstremaliose aukštos temperatūros aplinkose. Sveikiname jūsų tolesnę konsultaciją.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąKaip profesionalus CVD TaC Coating Wafer Carrier gaminių gamintojas ir gamykla Kinijoje, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier yra plokštelių nešiojimo įrankis, specialiai sukurtas aukštai temperatūrai ir korozinei aplinkai puslaidininkių gamyboje. ir CVD TaC Coating Wafer Carrier pasižymi dideliu mechaniniu stiprumu, puikiu atsparumu korozijai ir terminiu stabilumu, suteikiančiu būtiną garantiją aukštos kokybės puslaidininkinių įtaisų gamybai. Laukiame jūsų tolesnių užklausų.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis „TaC Coating Heater“ gamintojas ir novatorius Kinijoje. Šis produktas turi itin aukštą lydymosi temperatūrą (apie 3880°C). Aukšta TaC Coating Heater lydymosi temperatūra leidžia jam veikti itin aukštoje temperatūroje, ypač augant galio nitrido (GaN) epitaksiniams sluoksniams metalo organinio cheminio nusodinimo garais (MOCVD) procese. „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąKaip profesionalus „TaC Coated Chuck“ gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, „VeTek Semiconductor's TaC Coating Chuck“ yra specialiai sukurtas puslaidininkinėms krosnims. Dėl savo atsparumo aukštai temperatūrai, cheminio inertiškumo ir puikių eksploatacinių savybių, Vetek Semiconductor novatoriška technologija yra patikimas sprendimas puslaidininkių gamybos pramonei, užtikrinantis aukštos kokybės gamybos standartus. Tikime, kad mūsų produktai gali suteikti jums pažangių technologijų ir aukštos kokybės produktų sprendimų.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąKaip profesionalus „TaC Coating Tube“ gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, „VeTek Semiconductor“ TaC dangos vamzdis yra pagrindinė sėkmingo silicio karbido monokristalų augimo sudedamoji dalis. Dėl savo atsparumo aukštai temperatūrai, cheminio inertiškumo ir puikių eksploatacinių savybių jis užtikrina aukštos kokybės kristalų gamybą ir nuoseklius rezultatus. Pasitikėkite mūsų novatoriškais sprendimais, kad pagerintumėte savo PVT metodu SiC kristalų augimo procesą ir pasieksite puikių rezultatų. Sveiki atvykę į mūsų užklausą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis CVD TAC dangos gamintojas, novatorius ir lyderis Kinijoje. Daugelį metų daugiausia dėmesio skiriame įvairiems CVD TAC dangos gaminiams, tokiems kaip CVD TaC dangos dangtis, CVD TaC dangos žiedas, CVD TaC dangos laikiklis ir kt. VeTek Semiconductor palaiko pritaikytas gaminių paslaugas ir patenkinamas produktų kainas ir laukia jūsų tolesnio konsultacija.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą