Tantalo karbido žiedas

„VeTek Semiconductor“ tantalo karbido (TaC) žiede kaip pagrindinė medžiaga naudojamas aukštos kokybės grafitas ir dėl savo unikalios struktūros jis gali išlaikyti savo formą ir mechanines savybes ekstremaliomis kristalų auginimo krosnies sąlygomis. Didelis grafito atsparumas karščiui suteikia puikų stabilumą visamekristalų augimo procesas.

Išorinis TaC žiedo sluoksnis yra padengtas atantalo karbido danga, medžiaga, žinoma dėl itin didelio kietumo, lydymosi temperatūros virš 3880°C ir puikaus atsparumo cheminei korozijai, todėl ypač tinka aukštoje temperatūroje veikiančioje aplinkoje. Tantalo karbido danga yra tvirtas barjeras, veiksmingai užkertantis kelią smarkioms cheminėms reakcijoms ir užtikrinantis, kad grafito šerdies nerūdytų aukštos temperatūros krosnies dujos.

Persilicio karbido (SiC) kristalų augimas, stabilios ir vienodos augimo sąlygos yra labai svarbios norint užtikrinti aukštos kokybės kristalus. Tantalo karbido dangos žiedas atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį reguliuojant dujų srautą ir optimizuojant temperatūros pasiskirstymą krosnyje. Kaip dujų kreipiamasis žiedas, TaC žiedas užtikrina tolygų šilumos energijos ir reakcijos dujų pasiskirstymą, užtikrindamas vienodą SiC kristalų augimą ir stabilumą.

Be to, didelis grafito šilumos laidumas kartu su tantalo karbidu padengto apsauginiu poveikiu leidžia TaC kreipiamajam žiedui stabiliai veikti aukštos temperatūros aplinkoje, kuri reikalinga SiC kristalų augimui. Jo konstrukcinis stiprumas ir matmenų stabilumas yra labai svarbūs palaikant sąlygas krosnyje, o tai tiesiogiai veikia gaminamų kristalų kokybę. Mažindamas šiluminius svyravimus ir chemines reakcijas krosnyje, TaC dangos žiedas padeda generuoti puikių elektroninių savybių kristalus, skirtus didelio našumo puslaidininkiams.

„VeTek Semiconductor“ tantalo karbido žiedas yra pagrindinis komponentassilicio karbido kristalų auginimo krosnysir išsiskiria puikiu patvarumu, terminiu stabilumu ir cheminiu atsparumu. Unikalus grafito šerdies ir TaC dangos derinys leidžia išlaikyti struktūrinį vientisumą ir funkcionalumą atšiauriomis sąlygomis. Tiksliai valdydamas temperatūrą ir dujų srautą krosnyje, TaC dangos žiedas sudaro būtinas sąlygas gaminti aukštos kokybės SiC kristalus, kurie yra labai svarbūs gaminant pažangiausius puslaidininkių komponentus.

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio：