Tantalo karbido dangos atrama

Pagrindinė VeTek Semiconductor funkcijaTantalo karbido (TaC) dangaParama yra pagerintiatsparumas karščiui, atsparumas dilimui ir atsparumas korozijaiPagrindo paviršių padengiant tantalo karbido dangos sluoksniu, siekiant pagerinti proceso tikslumą ir patikimumą bei pailginti komponentų tarnavimo laiką. Tai didelio našumo dangos produktas, naudojamas puslaidininkių apdirbimo srityje.

„VeTek Semiconductor“ tantalo karbido dangos atramos pagal Moso kietumą yra beveik 9–10, o tai yra antras po deimantų. Jis pasižymi ypač dideliu atsparumu dilimui ir gali efektyviai atsispirti paviršiaus dilimui ir smūgiams apdirbimo metu, taip efektyviai prailgindamas įrangos komponentų tarnavimo laiką. Kartu su aukšta, maždaug 3880 °C lydymosi temperatūra, jis dažnai naudojamas pagrindiniams puslaidininkinės įrangos komponentams, pvz., atraminių konstrukcijų paviršiaus dangoms, terminio apdorojimo įrangai, puslaidininkinės įrangos kameroms ar tarpikliams padengti, siekiant padidinti atsparumą dilimui ir aukštą temperatūrą. pasipriešinimas.

Dėl itin aukštos tantalo karbido lydymosi temperatūros, maždaug 3880°C, puslaidininkių apdirbimo procesuose, pvz.cheminis nusodinimas garais (CVD)irfizinis nusodinimas garais (PVD), TaC danga, pasižyminti dideliu atsparumu aukštai temperatūrai ir atsparumu cheminei korozijai, gali veiksmingai apsaugoti įrangos komponentus ir užkirsti kelią korozijai ar substrato pažeidimui ekstremaliose aplinkose, užtikrindama veiksmingą apsaugą aukštos temperatūros aplinkoje gaminant plokšteles. Ši savybė taip pat lemia, kad VeTek Semiconductor tantalo karbido dangos atrama dažnai naudojama ėsdinimo ir korozijos procesuose.

Tantalo karbido dangos atrama taip pat mažina užterštumą dalelėmis. Apdorojant plokšteles, paviršiaus nusidėvėjimas paprastai sukelia kietųjų dalelių užteršimą, kuris turi įtakos plokštelės gaminio kokybei. Ekstremalios TaC Coating gaminio savybės, kurių kietumas yra beveik 9–10 Mohs, gali veiksmingai sumažinti susidėvėjimą ir taip sumažinti dalelių susidarymą. Kartu su puikiu TaC dangos šilumos laidumu (apie 21 W/m·K), ji gali išlaikyti gerą šilumos laidumą esant aukštai temperatūrai, todėl labai pagerėja plokštelių gamybos išeiga ir nuoseklumas.

VeTek Semiconductor pagrindiniai TaC dangos produktai yraTaC dangos šildytuvas, CVD TaC dangos tiglis, TaC dangos sukimosi susceptoriusirTaC dangos atsarginė dalisir t. t., ir palaiko pritaikytas produktų paslaugas. „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti puikius produktus ir techninius sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

Pagrindinės fizinės CVD TaC dangos savybės：