„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.
Pagrindiniai produktai yraTantalo karbido dangos defektoriaus žiedas, TaC padengtas nukreipimo žiedas, TaC dengtos pusmėnulio dalys, tantalo karbidu padengtas planetinis sukimosi diskas (Aixtron G10), TaC padengtas tiglis; TaC padengti žiedai; TaC padengtas akytasis grafitas; Tantalo karbido dangos grafito susceptorius; TaC padengtas kreipiamasis žiedas; Tantalo karbidu padengta TaC plokštė; TaC padengtas plokštelinis susceptorius; TaC dangos žiedas; TaC dangos grafito danga; TaC padengtas gabalasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.
TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:
Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.
●Temperatūros stabilumas
●Itin aukšto grynumo
●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si
●Atsparumas šiluminiam poveikiui
●Stiprus sukibimas su grafitu
●Konforminės dangos padengimas
● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)
● Indukcinis šildymo jutiklis
● Varžinis kaitinimo elementas
● Šilumos skydas
TaC dangos fizinės savybės | |
Tankis | 14,3 (g/cm³) |
Savitasis spinduliavimas | 0.3 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas | 6.3 10-6/K |
Kietumas (HK) | 2000 HK |
Atsparumas | 1×10-5Ohm*cm |
Terminis stabilumas | <2500 ℃ |
Keičiasi grafito dydis | -10-20um |
Dangos storis | ≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
Elementas | Atominis procentas | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Vidutinis | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti TaC padengto kreipiamojo žiedo gamintoja ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės keraminės dangos gamyboje. TaC padengti kreipiamieji žiedai pirmiausia naudojami oro srautui nukreipti ir valdyti, kad būtų padidintas vieno kristalo augimas. Sveiki atvykę į mus dėl papildomos informacijos.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbidu dengtų planetinių rotacinių diskų gamintoja ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės keraminių dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu ir atsparumu aukštai temperatūrai. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinija.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti TaC dengtų grafito plokštelių nešiklio gamintoja ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės SiC ir TaC dangų gamyboje. Mūsų TaC dengtas grafito plokštelių laikiklis yra atsparesnis temperatūrai ir atsparus dilimui. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą