Porėtas tantalo karbidas

„VeTek“ puslaidininkinis poringas tantalo karbidas (TaC) yra aukštos kokybės keraminė medžiaga, sujungianti tantalo ir anglies savybes. Jo porėta struktūra labai tinka specifiniams darbams aukštoje temperatūroje ir ekstremalioje aplinkoje. TaC derina puikų kietumą, terminį stabilumą ir cheminį atsparumą, todėl tai yra idealus medžiagos pasirinkimas puslaidininkių apdirbimui.

Poruotas tantalo karbidas (TaC) sudarytas iš tantalo (Ta) ir anglies (C), kuriame tantalas sudaro stiprią cheminę jungtį su anglies atomais, todėl medžiaga yra ypač patvari ir atspari dilimui. Poringa TaC struktūra susidaro gaminant medžiagą, o poringumą galima kontroliuoti pagal konkrečius naudojimo poreikius. Šį produktą paprastai gaminacheminis nusodinimas garais (CVD)metodas, užtikrinantis tikslią jo porų dydžio ir pasiskirstymo kontrolę.

Tantalo karbido molekulinė struktūra

„VeTek“ puslaidininkinis akytasis tantalo karbidas (TaC) turi šias gaminio savybes:

- Poringumas: Akyta struktūra suteikia jai skirtingas funkcijas pagal konkrečius naudojimo scenarijus, įskaitant dujų difuziją, filtravimą arba kontroliuojamą šilumos išsklaidymą.

- Aukšta lydymosi temperatūra: Tantalo karbido lydymosi temperatūra yra itin aukšta – apie 3880°C, todėl tinka itin aukštai temperatūrai.

- Puikus kietumas: Akytojo TaC kietumas yra labai didelis, maždaug 9-10 pagal Moso kietumo skalę, panašus į deimantą. ir gali būti atsparus mechaniniam susidėvėjimui ekstremaliomis sąlygomis.

- Šiluminis stabilumas: Tantalo karbido (TaC) medžiaga gali išlikti stabili esant aukštai temperatūrai ir turi stiprų šiluminį stabilumą, užtikrindama pastovų veikimą aukštoje temperatūroje.

- Aukštas šilumos laidumas: Nepaisant savo poringumo, akytasis tantalo karbidas vis tiek išlaiko gerą šilumos laidumą, todėl užtikrina efektyvų šilumos perdavimą.

- Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas: Mažas tantalo karbido (TaC) šiluminio plėtimosi koeficientas padeda medžiagai išlaikyti matmenų stabilumą esant dideliems temperatūros svyravimams ir sumažina šiluminio įtempio poveikį.

TaC dangos fizinės savybės：

Puslaidininkių gamyboje akytasis tantalo karbidas (TaC) atlieka šį specifinį pagrindinį vaidmenįs:

Aukštos temperatūros procesuose, pvzplazminis ėsdinimasir CVD, „VeTek“ puslaidininkinis akytasis tantalo karbidas dažnai naudojamas kaip apsauginė apdorojimo įrangos danga. Taip yra dėl didelio atsparumo korozijaiTaC dangair jo stabilumas aukštoje temperatūroje. Šios savybės užtikrina, kad jis veiksmingai apsaugo paviršius, veikiamus reaktyviųjų dujų arba ekstremalių temperatūrų, taip užtikrinant normalią aukštos temperatūros procesų reakciją.

Difuzijos procesuose akytasis tantalo karbidas gali būti veiksmingas difuzijos barjeras, neleidžiantis medžiagoms susimaišyti aukštos temperatūros procesuose. Ši funkcija dažnai naudojama reguliuojant priemaišų sklaidą tokiuose procesuose kaip jonų implantacija ir puslaidininkinių plokštelių grynumo kontrolė.

Akyta VeTek puslaidininkinio poringo tantalo karbido struktūra labai tinka puslaidininkių apdorojimo aplinkai, kuriai reikalingas tikslus dujų srauto valdymas arba filtravimas. Šiame procese akytasis TaC daugiausia atlieka dujų filtravimo ir paskirstymo vaidmenį. Jo cheminis inertiškumas užtikrina, kad filtravimo proceso metu nepatektų teršalų. Tai veiksmingai garantuoja perdirbto produkto grynumą.

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio: