Kinija Silicio nitridas Gamintojas, tiekėjas, gamykla

„VeTek Semiconductor“ daugiausia dėmesio skiria silicio nitrido gamybai ir turi tyrimų ir plėtros komandą, kurią sudaro vyresni ekspertai ir geriausi techniniai talentai. Silicio nitrido keramika turi bendrų keraminių medžiagų kietumo, atsparumo karščiui, atsparumo dilimui ir atsparumo korozijai privalumus, taip pat turi gerą atsparumą šiluminiam smūgiui, atsparumą aukštai temperatūrai, gerą savaiminį tepimą ir gerą cheminį stabilumą, ir yra plačiai paplitusi. naudojamas naujose energetikos, chemijos pramonės, aviacijos ir puslaidininkių srityse.

VeTek Semiconductor silicio nitrido medžiagos turi šiuos svarbius pranašumus:

1. Puikus cheminis stabilumas

Silicio nitrido keramika pasižymi puikiu cheminiu stabilumu ir gali atlaikyti įvairias stiprias rūgštis, šarmus ir ėsdinančias dujas. Puslaidininkių gamybos procese dažnai reikia kovoti su korozinėmis cheminėmis medžiagomis, silicio nitrido keramika gali suteikti ilgalaikę stabilaus veikimo garantiją.

2. Puikios mechaninės savybės

Silicio nitrido keramika pasižymi dideliu kietumu, puikiu atsparumu gniuždymui ir atsparumu dilimui, gali atlaikyti mechaninį įtempimą ir paviršiaus susidėvėjimą, nėra lengva deformuotis ar plyšti. Dėl šios mechaninės savybės jis labai tinkamas kaip medžiaga puslaidininkinės įrangos konstrukcinėms ir proceso dalims.

3. Aukštos temperatūros stabilumas

Silicio nitrido keramika gali išlaikyti stabilumą aukštoje temperatūroje, nėra lengva suminkštėti ar ištirpti, taip pat gali atlaikyti apdorojimą ir tvarkymą aukštoje temperatūroje puslaidininkių gamybos procese. Tai leidžia jį naudoti gaminant aukštos temperatūros proceso įrangos pagrindinius komponentus, tokius kaip griebtuvai, reakcijos kameros komponentai ir pan.

4. Puikios izoliacinės savybės

Izoliacinės savybės yra labai svarbios puslaidininkinių prietaisų gamyboje. Silicio nitrido keramika pasižymi geromis izoliacinėmis savybėmis, kurios gali efektyviai izoliuoti ir apsaugoti grandinės komponentus nuo srovės nuotėkio ar elektromagnetinių trukdžių, taip pagerinant įrenginio stabilumą ir patikimumą.

5. Šilumos laidumas ir šilumos laidumas

Silicio nitrido keramika pasižymi dideliu šilumos laidumu, gali efektyviai praleisti ir išsklaidyti įrenginio generuojamą šilumą, padeda išlaikyti įrenginio temperatūros stabilumą veikimo procese. Tai labai svarbu puslaidininkinių įtaisų veikimui.

„VeTek Semiconductor“ silicio nitrido medžiagų panaudojimas saulės ir puslaidininkių pramonėje daugiausia apima:

1. Elektrostatiniai griebtuvai ir ėsdinimo kameros komponentai

Silicio nitrido keramika dažnai naudojama kaip elektrostatinių griebtuvų ir ėsdinimo kameros komponentų medžiagos puslaidininkių gamyboje dėl puikaus cheminio stabilumo ir atsparumo aukštai temperatūrai. Elektrostatiniai griebtuvai naudojami plokštelėms ar substratams pritvirtinti ir stabilizuoti, o ėsdinimo kameros komponentai naudojami korozinėms dujoms ir aukštos temperatūros aplinkai atlaikyti.

2. dujų paskirstymo plokštės ir atšvaitai

Silicio nitrido keramika taip pat naudojama puslaidininkinės įrangos gamyboje dujų paskirstymo plokštėse ir atšvaituose. Dujų paskirstymo plokštės naudojamos tolygiai paskirstyti reaktyviąsias arba apsaugines dujas reakcijos kameroje, o atšvaitai naudojami siekiant optimizuoti šviesos pasiskirstymą ir atspindį reakcijos kameroje, kad būtų pagerintas reakcijos efektyvumas ir vienodumas.

3. Laikikliai ir terminiai komponentai

Silicio nitrido keramika dažnai naudojama kaip laikikliai ir šilumos valdymo komponentai puslaidininkių gamybos įrangoje. Šie komponentai turi turėti gerą mechaninį stiprumą, atsparumą dilimui ir šilumos laidumą, kad būtų užtikrintas stabilus įrangos veikimas ir įrenginio apdorojimo tikslumas.

4. Cheminio mechaninio poliravimo (CMP) trinkelės

Silicio nitrido keramika plačiai naudojama kaip trinkelių medžiaga cheminio mechaninio poliravimo (CMP) procese. Jis turi puikų plokštumą ir atsparumą dilimui ir gali užtikrinti stabilų atramą poliravimo proceso metu, kad būtų užtikrintas puslaidininkinio plokštelės paviršiaus lygumas ir tikslumas.