Tantalo karbido kreipiamasis žiedas

„VeTek“ puslaidininkisTantalo karbido kreiptuvasgyra pagamintas išgrafitasirpadengtas tantalo karbidu, derinys, kuris išnaudoja geriausias abiejų medžiagų savybes, kad būtų užtikrintas puikus veikimas ir ilgaamžiškumas.

TheTaC dangaant tantalo karbido kreipiamojo žiedo užtikrina, kad jis išliktų chemiškai inertiškas SiC kristalų auginimo krosnių reaktyviose atmosferose, kuriose dažnai būna tokių dujų kaip vandenilis, argonas ir azotas. Šis cheminis inertiškumas yra gyvybiškai svarbus siekiant išvengti bet kokio augančio kristalo užteršimo, dėl kurio gali atsirasti defektų ir sumažėti galutinių puslaidininkių gaminių veikimas. Be to, šiluminis stabilumas, kurį suteikia TaC danga, leidžia tantalo karbido dangos kreipiamajam žiedui efektyviai veikti esant aukštai temperatūrai, kuri reikalingaSiC kristalų augimas, paprastai viršija 2000°C.

Be to, grafito ir TaC derinys tantalo karbido dangos žiede optimizuoja šilumos valdymą kristalų auginimo krosnyje. Didelis grafito šilumos laidumas efektyviai paskirsto šilumą, neleidžia susidaryti karštoms vietoms ir skatina tolygų kristalų augimą. Tuo tarpu tantalo karbido danga tarnauja kaip šiluminė barjera, apsauganti grafito šerdį nuo tiesioginio aukštos temperatūros ir reaktyvių dujų poveikio. Dėl šios šerdies ir dangos medžiagų sinergijos susidaro kreipiamasis žiedas, kuris ne tik atlaiko atšiaurias SiC kristalų augimo sąlygas, bet ir pagerina bendrą proceso efektyvumą bei kokybę.

Mechaninės VeTek Semiconductor tantalo karbido savybės labai sumažina tantalo karbido dangos žiedo susidėvėjimą. Tai labai svarbu dėl pasikartojančio pobūdžiokristalų augimo procesas, kuris veikia kreipiamąjį žiedą nuo dažnų šiluminių ciklų ir mechaninių įtempimų. Tantalo karbido kietumas ir atsparumas nusidėvėjimui užtikrina, kad kreipiamasis žiedas ilgą laiką išlaikys savo struktūrinį vientisumą ir tikslius matmenis, sumažina poreikį dažnai keisti ir sumažina gamybos proceso prastovą.

„VeTek“ puslaidininkinio tantalo karbido dangos kreipiamasis žiedas yra esminis puslaidininkių pramonės komponentas, specialiai sukurtas augtiSilicio karbido kristalai. Jo dizainas išnaudoja grafito ir tantalo karbido stipriąsias puses, kad būtų užtikrintas išskirtinis veikimas aukštos temperatūros ir didelio įtempimo aplinkoje. TaC danga užtikrina cheminį inertiškumą, mechaninį ilgaamžiškumą ir terminį stabilumą – visa tai labai svarbu gaminant aukštos kokybės SiC kristalus. Išlaikant vientisumą ir funkcionalumą ekstremaliomis sąlygomis, kreipiamasis žiedas palaiko efektyvų ir be defektų SiC kristalų augimą, taip prisidedant prie didelės galios ir aukšto dažnio puslaidininkinių įrenginių pažangos.

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

TaC dangos fizinės savybės: