Garinimas elektronų pluoštu yra labai efektyvus ir plačiai naudojamas dengimo būdas, palyginti su atspariniu šildymu, kai garinimo medžiaga šildoma elektronų pluoštu, todėl ji išgaruoja ir kondensuojasi į ploną plėvelę.
Skaityti daugiauVakuuminė danga apima plėvelės medžiagos garinimą, vakuuminį transportavimą ir plonos plėvelės auginimą. Pagal skirtingus plėvelės medžiagų garinimo būdus ir transportavimo procesus vakuuminę dangą galima suskirstyti į dvi kategorijas: PVD ir CVD.
Skaityti daugiauPlonos plėvelės nusodinimas yra gyvybiškai svarbus lustų gamyboje, kuriant mikroįrenginius nusodinant plėveles, kurių storis mažesnis nei 1 mikronas, naudojant CVD, ALD arba PVD. Šie procesai sukuria puslaidininkinius komponentus per kintamąsias laidžias ir izoliacines plėveles.
Skaityti daugiauPuslaidininkių gamybos procesas apima aštuonis etapus: plokštelių apdorojimą, oksidavimą, litografiją, ėsdinimą, plonasluoksnį nusodinimą, sujungimą, testavimą ir pakavimą. Silicis iš smėlio yra perdirbamas į plokšteles, oksiduojamas, raštuotas ir išgraviruotas didelio tikslumo grandinėms.
Skaityti daugiau