„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.
Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.
TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:
Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.
●Temperatūros stabilumas
●Itin aukšto grynumo
●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si
●Atsparumas šiluminiam poveikiui
●Stiprus sukibimas su grafitu
●Konforminės dangos padengimas
● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)
● Indukcinis šildymo jutiklis
● Varžinis kaitinimo elementas
● Šilumos skydas
TaC dangos fizinės savybės | |
Tankis | 14,3 (g/cm³) |
Savitoji spinduliuotė | 0.3 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas | 6.3 10-6/K |
Kietumas (HK) | 2000 HK |
Atsparumas | 1×10-5Ohm*cm |
Terminis stabilumas | <2500 ℃ |
Keičiasi grafito dydis | -10-20um |
Dangos storis | ≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
Elementas | Atominis procentas | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Vidutinis | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
TaC padengtas kreipiamasis žiedas pagamintas iš aukštos kokybės grafito ir TaC dangos. Ruošiant SiC kristalus PVT metodu, VeTek Semiconductor TaC padengtas kreipiamasis žiedas daugiausia naudojamas oro srautui nukreipti ir valdyti, monokristalų augimo procesui optimizuoti ir pavienių kristalų išeigai pagerinti. Dėl puikios TaC dengimo technologijos mūsų gaminiai pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumu korozijai ir geromis mechaninėmis savybėmis. Nuoširdžiai sveikiname jūsų konsultaciją ir tikimės suteikti jums išsamesnės informacijos apie gaminį bei techninę pagalbą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbidu padengto planetinio sukimosi disko gamintoja ir tiekėja Kinijoje, daugelį metų daugiausia dėmesio skirianti TaC dangos technologijai. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu ir puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, kuriuos plačiai pripažįsta puslaidininkių gamintojai. „VeTek“ puslaidininkinis tantalo karbidu padengtas planetinis sukimosi diskas tapo plokštelių epitaksijos pramonės pagrindu. Tikimės užmegzti su jumis ilgalaikę partnerystę, kad kartu skatintume technologinę pažangą ir gamybos optimizavimą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ klientams kruopščiai sukūrė TaC padengtą grafito plokštelių laikiklį. Jis sudarytas iš didelio grynumo grafito ir TaC dangos, kuri tinka įvairiems plokštelių epitaksiniam plokštelių apdorojimui. Jau daugelį metų specializuojamės SiC ir TaC dangose. Palyginti su SiC danga, mūsų TaC padengtas grafito plokštelių laikiklis yra atsparesnis temperatūrai ir atsparus dilimui. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą