„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbidu dengtų planetinių rotacinių diskų gamintoja ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės keraminių dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu ir atsparumu aukštai temperatūrai. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinija.
Aukštos kokybės tantalo karbidu padengtą planetinį sukimosi diską siūlo Kinijos gamintojas VeTek Semiconductor. PirktiPadengtas tantalo karbiduPlanetinis sukimosi diskas, kuris yra aukštos kokybės tiesiogiai už mažą kainą.
Tantalo karbidu padengtas planetinis sukimosi diskas yra priedas, sukurtas AIXTRON G10 MOCVD sistemai, skirtas pagerinti puslaidininkių gamybos efektyvumą ir kokybę. Pagamintas iš aukštos kokybės medžiagų ir tiksliai pagamintas, tantalo karbidu padengtas planetinis sukimosi diskas užtikrina išskirtinį našumą ir patikimumąMetalo-organinis cheminis nusodinimas garais (MOCVD) procesai.
Planetinis diskas pagamintas naudojant grafito pagrindą, padengtąCVD TaC, užtikrina puikų terminį stabilumą, aukštą grynumą ir atsparumą aukštai temperatūrai.
Planetinis diskas, pritaikytas įvairiems puslaidininkių plokštelių dydžiams, tinka įvairiems gamybos reikalavimams. Jo tvirta konstrukcija yra specialiai sukurta taip, kad atlaikytų sudėtingas MOCVD sistemos veikimo sąlygas, užtikrinant ilgalaikį veikimą ir sumažinant prastovų bei priežiūros išlaidas, susijusias su plokštelių laikikliais ir susceptoriais.
Naudojant planetinį diską,AIXTRON G10 MOCVD sistemagali pasiekti didesnį efektyvumą ir geresnių rezultatų puslaidininkių gamyboje. Dėl išskirtinio terminio stabilumo, suderinamumo su skirtingų dydžių plokštelėmis ir patikimu veikimu jis yra esminis įrankis optimizuojant gamybos efektyvumą ir siekiant išskirtinių rezultatų sudėtingoje MOCVD aplinkoje.
TaC dangos fizinės savybės | |
Tankis | 14,3 (g/cm³) |
Savitoji spinduliuotė | 0.3 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas | 6,3*10-6/K |
Kietumas (HK) | 2000 HK |
Atsparumas | 1×10-5Ohm * cm |
Terminis stabilumas | <2500 ℃ |
Keičiasi grafito dydis | -10-20um |
Dangos storis | ≥20um tipinė vertė (35um±10um) |