„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.
Pagrindiniai produktai yraTantalo karbido dangos defektoriaus žiedas, TaC padengtas nukreipimo žiedas, TaC dengtos pusmėnulio dalys, tantalo karbidu padengtas planetinis sukimosi diskas (Aixtron G10), TaC padengtas tiglis; TaC padengti žiedai; TaC padengtas akytasis grafitas; Tantalo karbido dangos grafito susceptorius; TaC padengtas kreipiamasis žiedas; Tantalo karbidu padengta TaC plokštė; TaC padengtas plokštelinis susceptorius; TaC dangos žiedas; TaC dangos grafito danga; TaC padengtas gabalasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.
TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:
Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.
●Temperatūros stabilumas
●Itin aukšto grynumo
●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si
●Atsparumas šiluminiam poveikiui
●Stiprus sukibimas su grafitu
●Konforminės dangos padengimas
● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)
● Indukcinis šildymo jutiklis
● Varžinis kaitinimo elementas
● Šilumos skydas
TaC dangos fizinės savybės | |
Tankis | 14,3 (g/cm³) |
Savitasis spinduliavimas | 0.3 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas | 6.3 10-6/K |
Kietumas (HK) | 2000 HK |
Atsparumas | 1×10-5Ohm*cm |
Terminis stabilumas | <2500 ℃ |
Keičiasi grafito dydis | -10-20um |
Dangos storis | ≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
Elementas | Atominis procentas | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Vidutinis | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Akytasis grafitas su TaC danga yra pažangi puslaidininkių apdorojimo medžiaga, kurią tiekia VeTek Semiconductor. Porėtas grafitas su TaC danga sujungia akytos grafito ir tantalo karbido (TaC) dangos pranašumus, gerus šilumos laidumą ir dujų pralaidumą. „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, todėl tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos gamintoja ir novatorius Kinijoje. Mes orientuojamės į didelio grynumo, aukštai temperatūrai atsparių tantalo karbido gaminių tiekimą. Mūsų tantalo karbidu dengtas dangtis pasižymi puikiomis eksploatacinėmis savybėmis ir patikimumu bei gali veiksmingai apsaugoti medžiagas esant ypač aukštai temperatūrai ir korozijai. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąVeTek Semiconductor's TaC padengtas deflektorinis žiedas yra labai specializuotas komponentas, skirtas SiC kristalų augimo procesams. TaC danga užtikrina puikų atsparumą aukštai temperatūrai ir cheminį inertiškumą, kad atlaikytų aukštą temperatūrą ir korozinę aplinką kristalų augimo proceso metu. Tai užtikrina stabilų veikimą ir ilgą komponento tarnavimo laiką, sumažinant keitimo ir prastovų dažnumą. Esame įsipareigoję teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis tantalo karbidu dengtų vamzdžių, skirtų kristalų augimui, gamintojas ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės keraminių dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu ir atsparumu aukštai temperatūrai. Tikimės, kad tapsime jūsų ilgalaikiu partneriu. Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra didelio masto TaC dengtas žiedas, skirtas SiC epitaksinio reaktoriaus gamintojui ir novatoriui Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės TaC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu, dideliu stabilumu, puikiu atsparumu korozijai, dideliu sukibimo stiprumu. tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra didelio masto tantalo karbidu dengta pusmėnulio dalis, skirta LPE gamintojui ir novatoriui Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės TaC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai gali atlaikyti aukštesnę nei 2000 laipsnių Celsijaus temperatūrą, prailgina eksploatacinių medžiagų tarnavimo laiką. tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą