TaC dangos sukimosi plokštė

„VeTek Semiconductor“ TaC dangos sukimosi plokštės sudėtis yra labai gryna, priemaišų kiekis mažesnis nei 5 ppm, tanki ir vienoda struktūra, plačiai naudojama LPE EPI sistemose, Aixtron sistemose, Nuflare sistemose, TEL CVD sistemose, VEECO sistemose, TSI sistemos.

Puikios mechaninės savybės:

Dangos kietumas iki 2300HV, puikus atsparumas dilimui.

Sukibimas tarp dangos ir pagrindo yra stiprus, nesunku nukristi ar nulupti.

Danga gali išlaikyti gerą struktūrinį stabilumą aukštoje temperatūroje.

Puikus atsparumas korozijai:

Pati TaC medžiaga pasižymi puikiu cheminiu stabilumu ir atsparumu korozijai.

„VeTek“ puslaidininkinės dangos puikiai veikia įvairiose agresyviose dujų aplinkoje.

Gali veiksmingai apsaugoti vidinius įrangos komponentus nuo korozijos pažeidimų.

Aukšta paviršiaus apdaila:

„VeTek“ puslaidininkis naudoja tikslų dengimo procesą, kad gautų norimą apdailą.

Mažas paviršiaus šiurkštumas padeda sumažinti dalelių kaupimąsi ir nusėdimą.

Dangos konsistencija gera:

„VeTek Semiconductor“ turi garso kokybės kontrolės sistemą, užtikrinančią nuoseklų veikimą tarp partijų.

Dangos storis pasiskirsto tolygiai ir nėra akivaizdžių vietinių defektų.

Puikus praktinis pritaikymas:

„VeTek“ puslaidininkinė TaC danga yra plačiai naudojama daugelyje žinomų epitaksinės įrangos gamintojų namuose ir užsienyje.

TaC dengtos rotacinės plokštės gaminio fizinis parametras: