CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius

Aixtron planetinis reaktorius yra vienas iš pažangiausiųMOCVD įranga. Jis tapo mokymosi šablonu daugeliui reaktorių gamintojų. Remiantis horizontalaus laminarinio srauto reaktoriaus principu, jis užtikrina aiškų perėjimą tarp skirtingų medžiagų ir neprilygstamai kontroliuoja nusodinimo greitį vieno atominio sluoksnio srityje, nusodinant ant besisukančios plokštelės tam tikromis sąlygomis. 

Kritiškiausias iš jų yra daugialypis sukimosi mechanizmas: reaktorius priima kelis CVD TaC dangos planetinio SiC epitaksinio susceptoriaus sukimus. Šis sukimasis leidžia plokštelę tolygiai paveikti reakcijos dujomis reakcijos metu, taip užtikrinant, kad ant plokštelės nusodintos medžiagos sluoksnio storis, sudėtis ir legiravimas būtų vienodi.

TaC keramika yra aukštos kokybės medžiaga, turinti aukštą lydymosi temperatūrą (3880°C), puikų šilumos laidumą, elektrinį laidumą, didelį kietumą ir kitas puikias savybes, svarbiausia yra atsparumas korozijai ir atsparumas oksidacijai. SiC ir III grupės nitridinių puslaidininkinių medžiagų epitaksinio augimo sąlygomis TaC pasižymi puikiu cheminiu inertiškumu. Todėl CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, paruoštas CVD metodu, turi akivaizdžių pranašumųSiC epitaksinis augimasprocesas.

TaC dengto grafito skerspjūvio SEM vaizdas

●  Atsparumas aukštai temperatūrai: SiC epitaksinė augimo temperatūra yra net 1500 ℃ – 1700 ℃ ar net aukštesnė. TaC lydymosi temperatūra yra apie 4000 ℃. Po to, kaiTaC dangadedamas ant grafito paviršiausgrafito dalysgali išlaikyti gerą stabilumą aukštoje temperatūroje, atlaikyti aukštos temperatūros SiC epitaksinio augimo sąlygas ir užtikrinti sklandų epitaksinio augimo proceso eigą.

● Padidintas atsparumas korozijai: TaC danga pasižymi geru cheminiu stabilumu, efektyviai izoliuoja šias chemines dujas nuo sąlyčio su grafitu, apsaugo nuo grafito korozijos ir prailgina grafito dalių tarnavimo laiką.

● Pagerėjęs šilumos laidumas: TaC danga gali pagerinti grafito šilumos laidumą, kad šiluma būtų tolygiau paskirstyta grafito dalių paviršiuje, užtikrinant stabilią temperatūros aplinką SiC epitaksiniam augimui. Tai padeda pagerinti SiC epitaksinio sluoksnio augimo vienodumą.

●  Sumažinkite priemaišų užteršimą: TaC danga nereaguoja su SiC ir gali būti veiksminga kliūtis, neleidžianti grafito dalyse esantiems priemaišų elementams difunduoti į SiC epitaksinį sluoksnį, taip pagerinant SiC epitaksinės plokštelės grynumą ir veikimą.

„VeTek Semiconductor“ gali ir gerai pagaminti CVD TaC dangos planetinį SiC epitaksinį susceptorių ir gali pateikti klientams labai pritaikytus gaminius. laukiame jūsų užklausos.

Fizinės savybėsTantalo karbido danga 

„VeTek“ puslaidininkių gamybos cechai