„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.
Pagrindiniai produktai yraTantalo karbido dangos defektoriaus žiedas, TaC padengtas nukreipimo žiedas, TaC dengtos pusmėnulio dalys, tantalo karbidu padengtas planetinis sukimosi diskas (Aixtron G10), TaC padengtas tiglis; TaC padengti žiedai; TaC padengtas akytasis grafitas; Tantalo karbido dangos grafito susceptorius; TaC padengtas kreipiamasis žiedas; Tantalo karbidu padengta TaC plokštė; TaC padengtas plokštelinis susceptorius; TaC dangos žiedas; TaC dangos grafito danga; TaC padengtas gabalasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.
TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:
Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.
●Temperatūros stabilumas
●Itin aukšto grynumo
●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si
●Atsparumas šiluminiam poveikiui
●Stiprus sukibimas su grafitu
●Konforminės dangos padengimas
● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)
● Indukcinis šildymo jutiklis
● Varžinis kaitinimo elementas
● Šilumos skydas
TaC dangos fizinės savybės | |
Tankis | 14,3 (g/cm³) |
Savitasis spinduliavimas | 0.3 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas | 6.3 10-6/K |
Kietumas (HK) | 2000 HK |
Atsparumas | 1×10-5Ohm*cm |
Terminis stabilumas | <2500 ℃ |
Keičiasi grafito dydis | -10-20um |
Dangos storis | ≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
Elementas | Atominis procentas | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Vidutinis | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti TaC dengtų trijų žiedlapių žiedų gamintoja ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės TaC ir SiC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi atsparumu korozijai ir dideliu stiprumu. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis tantalo karbidu dengtų griebtuvų gamintojas ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės TaC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu ir atsparumu aukštai temperatūrai iki 2000 ℃. Tikimės, kad tapsime jūsų ilgalaikiu partneris Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbidu dengtų dangčių gamintoja ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės taC ir SiC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi atsparumu korozijai ir dideliu stiprumu. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti pritaikyto „Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon“ tiekėja Kinijoje, daugelį metų besispecializuojanti pažangių medžiagų gamyboje. Mūsų „Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon“ yra specialiai sukurtas SiC epitaksinei įrangai, todėl užtikrinamas puikus veikimas. Pagaminta iš itin gryno importuoto grafito, užtikrina patikimumą ir ilgaamžiškumą. Apsilankykite mūsų gamykloje Kinijoje ir patys ištirkite mūsų aukštos kokybės „Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon“.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis pritaikytos viršutinės pusmėnulio dalies SiC dengtos SiC tiekėjas Kinijoje, daugiau nei 20 metų besispecializuojantis pažangiose medžiagose. „VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part“ SiC padengta yra specialiai sukurta SiC epitaksinei įrangai, kuri yra esminis reakcijos kameros komponentas. Pagaminta iš itin gryno puslaidininkinio grafito, užtikrina puikų veikimą. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis pritaikytų silicio karbido epitaksinių plokštelių nešiklio tiekėjas Kinijoje. Mes specializuojamės pažangių medžiagų gamyboje daugiau nei 20 metų. Siūlome silicio karbido epitaksinių plokštelių laikiklį, skirtą SiC substratui nešti, SiC epitaksinio sluoksnio auginimui SiC epitaksiniame reaktoriuje. Šis silicio karbido epitaksinis plokštelių laikiklis yra svarbi SiC dengta pusmėnulio dalies dalis, atspari aukštai temperatūrai, atsparumas oksidacijai, atsparumas dilimui. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą