Unikalios „VeTek Semiconductor“ karbido dangos užtikrina puikią grafito dalių apsaugą SiC epitaksijos procese, apdorojant sudėtingas puslaidininkines ir kompozitines puslaidininkines medžiagas. Rezultatas – pailgintas grafito komponento tarnavimo laikas, išsaugoma reakcijos stechiometrija, slopinama priemaišų migracija į epitaksiją ir kristalų auginimą, todėl padidėja derlius ir kokybė.
Mūsų tantalo karbido (TaC) dangos apsaugo svarbiausius krosnies ir reaktoriaus komponentus aukštoje temperatūroje (iki 2200°C) nuo karšto amoniako, vandenilio, silicio garų ir išlydytų metalų. „VeTek Semiconductor“ turi daugybę grafito apdorojimo ir matavimo galimybių, kad atitiktų jūsų individualius reikalavimus, todėl galime pasiūlyti mokamą dangą arba visas paslaugas, o mūsų ekspertų inžinierių komanda yra pasiruošusi sukurti tinkamą sprendimą jums ir jūsų konkrečiam pritaikymui. .
Sudėtiniai puslaidininkiniai kristalai
„VeTek Semiconductor“ gali pateikti specialias TaC dangas įvairiems komponentams ir laikikliams. Per VeTek Semiconductor pramonėje pirmaujantį dengimo procesą, TaC danga gali gauti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir didelį cheminį atsparumą, taip pagerindama kristalų TaC / GaN) ir EPl sluoksnių kokybę ir pailgindama svarbiausių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką.
Šilumos izoliatoriai
SiC, GaN ir AlN kristalų auginimo komponentai, įskaitant tiglius, sėklų laikiklius, deflektorius ir filtrus. Pramoniniai mazgai, įskaitant varžinius kaitinimo elementus, purkštukus, ekranavimo žiedus ir litavimo įtaisus, GaN ir SiC epitaksinius CVD reaktorių komponentus, įskaitant plokštelių laikiklius, palydovinius padėklus, dušo galvutes, dangtelius ir pjedestalus, MOCVD komponentus.
LED (šviesos diodų) plokštelių laikiklis
ALD (puslaidininkinis) imtuvas
EPI receptorius (SiC epitaksijos procesas)
TaC dengtas palydovinis susceptorius TaC dangos susceptorius ir žiedas TaC dangos dalys Pusmėnulio dalys su TaC danga
SiC | TaC | |
Pagrindinės funkcijos | Itin aukštas grynumas, puikus atsparumas plazmai | Puikus stabilumas aukštoje temperatūroje (aukštos temperatūros proceso atitiktis) |
Grynumas | >99,9999 % | >99,9999 % |
Tankis (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Kietumas (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Atsparumas [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Šilumos laidumas (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Taikymas | Puslaidininkinės įrangos keramika (fokusavimo žiedas, dušo galvutė, manekeno plokštelė) | SiC Single kristalų augimas, Epi, UV LED įrangos dalys |
„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos gamintoja ir novatorius Kinijoje. Mes orientuojamės į didelio grynumo, aukštai temperatūrai atsparių tantalo karbido gaminių tiekimą. Mūsų tantalo karbidu dengtas dangtis pasižymi puikiomis eksploatacinėmis savybėmis ir patikimumu bei gali veiksmingai apsaugoti medžiagas esant ypač aukštai temperatūrai ir korozijai. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąVeTek Semiconductor's TaC padengtas deflektorinis žiedas yra labai specializuotas komponentas, skirtas SiC kristalų augimo procesams. TaC danga užtikrina puikų atsparumą aukštai temperatūrai ir cheminį inertiškumą, kad atlaikytų aukštą temperatūrą ir korozinę aplinką kristalų augimo proceso metu. Tai užtikrina stabilų veikimą ir ilgą komponento tarnavimo laiką, sumažinant keitimo ir prastovų dažnumą. Esame įsipareigoję teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra didelio masto TaC dengtas žiedas, skirtas SiC epitaksinio reaktoriaus gamintojui ir novatoriui Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės TaC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu, dideliu stabilumu, puikiu atsparumu korozijai, dideliu sukibimo stiprumu. tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra didelio masto tantalo karbidu dengta pusmėnulio dalis, skirta LPE gamintojui ir novatoriui Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės TaC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai gali atlaikyti aukštesnę nei 2000 laipsnių Celsijaus temperatūrą, prailgina eksploatacinių medžiagų tarnavimo laiką. tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbidu dengtų planetinių rotacinių diskų gamintoja ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės keraminių dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu ir atsparumu aukštai temperatūrai. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinija.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą