Kinija SiC epitaksijos procesas Gamintojas, tiekėjas, gamykla

Unikalios „VeTek Semiconductor“ karbido dangos užtikrina puikią grafito dalių apsaugą SiC epitaksijos procese, apdorojant sudėtingas puslaidininkines ir kompozitines puslaidininkines medžiagas. Rezultatas – pailgintas grafito komponento tarnavimo laikas, išsaugoma reakcijos stechiometrija, slopinama priemaišų migracija į epitaksiją ir kristalų auginimą, todėl padidėja derlius ir kokybė.

Mūsų tantalo karbido (TaC) dangos apsaugo svarbiausius krosnies ir reaktoriaus komponentus aukštoje temperatūroje (iki 2200°C) nuo karšto amoniako, vandenilio, silicio garų ir išlydytų metalų. „VeTek Semiconductor“ turi daugybę grafito apdorojimo ir matavimo galimybių, kad atitiktų jūsų individualius reikalavimus, todėl galime pasiūlyti mokamą dangą arba visas paslaugas, o mūsų ekspertų inžinierių komanda yra pasiruošusi sukurti tinkamą sprendimą jums ir jūsų konkrečiam pritaikymui. .

Sudėtiniai puslaidininkiniai kristalai

„VeTek Semiconductor“ gali pateikti specialias TaC dangas įvairiems komponentams ir laikikliams. Per VeTek Semiconductor pramonėje pirmaujantį dengimo procesą, TaC danga gali gauti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir didelį cheminį atsparumą, taip pagerindama kristalų TaC / GaN) ir EPl sluoksnių kokybę ir pailgindama svarbiausių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką.

Šilumos izoliatoriai

SiC, GaN ir AlN kristalų auginimo komponentai, įskaitant tiglius, sėklų laikiklius, deflektorius ir filtrus. Pramoniniai mazgai, įskaitant varžinius kaitinimo elementus, purkštukus, ekranavimo žiedus ir litavimo įtaisus, GaN ir SiC epitaksinius CVD reaktorių komponentus, įskaitant plokštelių laikiklius, palydovinius padėklus, dušo galvutes, dangtelius ir pjedestalus, MOCVD komponentus.

Paskirtis:

LED (šviesos diodų) plokštelių laikiklis

ALD (puslaidininkinis) imtuvas

EPI receptorius (SiC epitaksijos procesas)

TaC dengtas palydovinis susceptorius TaC dangos susceptorius ir žiedas TaC dangos dalys Pusmėnulio dalys su TaC danga

SiC dangos ir TaC dangos palyginimas:

	SiC	TaC
Pagrindinės funkcijos	Itin aukštas grynumas, puikus atsparumas plazmai	Puikus stabilumas aukštoje temperatūroje (aukštos temperatūros proceso atitiktis)
Grynumas	>99,9999 %	>99,9999 %
Tankis (g/cm 3)	3.21	15
Kietumas (kg/mm2)	2900-3300	6,7-7,2
Atsparumas [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Šilumos laidumas (W/m-K)	200-360	22
Šiluminio plėtimosi koeficientas (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Taikymas	Puslaidininkinės įrangos keramika (fokusavimo žiedas, dušo galvutė, manekeno plokštelė)	SiC Single kristalų augimas, Epi, UV LED įrangos dalys

View as

CVD TaC dangos nešiklis

VeTek Semiconductor CVD TaC dangos laikiklis daugiausia skirtas puslaidininkių gamybos epitaksiniam procesui. CVD TaC dangos laikiklio itin aukšta lydymosi temperatūra, puikus atsparumas korozijai ir išskirtinis terminis stabilumas lemia šio gaminio būtinumą puslaidininkių epitaksiniame procese. Mes nuoširdžiai tikimės užmegzti su jumis ilgalaikius verslo santykius.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC dangos kreipiamasis žiedas

VeTek Semiconductor's TaC Coating Guide Ring yra sukurtas dengiant tantalo karbido dangą ant grafito dalių, naudojant labai pažangią techniką, vadinamą cheminiu garų nusodinimu (CVD). Šis metodas yra nusistovėjęs ir pasižymi išskirtinėmis dangos savybėmis. Naudojant TaC dangos kreipiamąjį žiedą, grafito komponentų tarnavimo laikas gali būti žymiai pailgintas, grafito priemaišų judėjimas gali būti slopinamas, o SiC ir AIN monokristalų kokybė gali būti patikimai palaikoma. Sveiki atvykę į mūsų paklausimą.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC padengtas grafito susceptorius

VeTek Semiconductor's TaC padengtas grafito susceptorius naudoja cheminio nusodinimo garais (CVD) metodą, kad paruoštų tantalo karbido dangą ant grafito dalių paviršiaus. Šis procesas yra pats brandžiausias ir pasižymi geriausiomis dangos savybėmis. TaC padengtas grafito susceptorius gali prailginti grafito komponentų tarnavimo laiką, slopinti grafito priemaišų migraciją ir užtikrinti epitaksijos kokybę. „VeTek Semiconductor“ laukia jūsų užklausos.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC dangos susceptorius

„VeTek Semiconductor“ pristato „TaC Coating Susceptor“ su išskirtine TaC danga, šis susceptorius turi daugybę privalumų, išskiriančių jį iš įprastų sprendimų. „VeTek Semiconductor“ TaC dangos susceptorius, sklandžiai integruojamas į esamas sistemas, garantuoja suderinamumą ir efektyvų veikimą. Jo patikimas veikimas ir aukštos kokybės TaC danga nuolat užtikrina išskirtinius SiC epitaksijos procesų rezultatus. Esame įsipareigoję teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC dangos sukimosi plokštė

VeTek Semiconductor's TaC Coating Rotation Plate gali pasigirti išskirtine TaC danga. Su išskirtine TaC danga TaC Coating Rotation Plate pasižymi išskirtiniu atsparumu aukštai temperatūrai ir cheminiu inertiškumu, o tai išskiria ją iš tradicinių sprendimų. Esame įsipareigoję teikti kokybiškus produktus konkurencingomis sąlygomis. kainas ir tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC dangos plokštė

VeTek Semiconductor's TaC dangos plokštė yra puikus gaminys, pasižymintis išskirtinėmis savybėmis ir pranašumais. Sukurta tiksliai ir tobulai suprojektuota mūsų TaC dangos plokštė yra specialiai pritaikyta įvairiems silicio karbido (SiC) monokristalų augimo procesams. TaC dangos plokštės tikslūs matmenys ir tvirta konstrukcija leidžia lengvai integruoti į esamas sistemas, užtikrinant sklandų suderinamumą. ir efektyvus veikimas. Patikimas veikimas ir aukštos kokybės danga prisideda prie nuoseklių ir vienodų SiC kristalų augimo rezultatų. Esame įsipareigoję teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

<...2 3 4 5 6...7 >

Kaip profesionalus SiC epitaksijos procesas gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kurios atitiktų konkrečius jūsų regiono poreikius, ar norite įsigyti pažangių ir patvarių SiC epitaksijos procesas, pagamintų Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.