„VeTek Semiconductor“ yra didelio masto tantalo karbidu dengta pusmėnulio dalis, skirta LPE gamintojui ir novatoriui Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės TaC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai gali atlaikyti aukštesnę nei 2000 laipsnių Celsijaus temperatūrą, prailgina eksploatacinių medžiagų tarnavimo laiką. tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Kaip profesionalus gamintojas, „VeTek Semiconductor“ norėtų pateikti jums aukštos kokybės tantalo karbidu dengtą pusmėnulio dalį, skirtą LPE.
„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus lyderis Kinijos SiC, TaC dangos, kieto SiC gamintojas, pasižymintis aukšta kokybe ir prieinama kaina. Mūsų tantalo karbidu dengtos pusmėnulio dalys, skirtos LPE, naudojamos horizontalios ir vertikalios epitaksinės įrangos reakcijos kameroje substratui, temperatūros kontrolei, šilumai nešti. konservavimo, vėdinimo, apsaugos ir kitos funkcijos, kad būtų galima bendrai kontroliuoti SiC epitaksinio sluoksnio augimo reakcijos kameroje storį, dopingą, defektus ir kitas medžiagų charakteristikas.
Su „VeTek Semiconductor“ susiję produktai: viršutinis pusmėnulis, apatinis pusmėnulis, apsauginis dangtelis, izoliacinis dangtelis, proceso oro nukreipimo sąsaja. Mūsų įmonė yra įsipareigojusi teikti klientams visą spektrą reakcijos kameros dengtų SiC ir TaC dengtų komponentų sprendimų.
TaC dangos fizinės savybės | |
Tankis | 14,3 (g/cm³) |
Savitoji spinduliuotė | 0.3 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas | 6.3 10-6/K |
Kietumas (HK) | 2000 HK |
Atsparumas | 1×10-5 Ohm*cm |
Terminis stabilumas | <2500 ℃ |
Keičiasi grafito dydis | -10-20um |
Dangos storis | ≥20um tipinė vertė (35um±10um) |