Kinija SiC epitaksijos procesas Gamintojas, tiekėjas, gamykla

Unikalios „VeTek Semiconductor“ karbido dangos užtikrina puikią grafito dalių apsaugą SiC epitaksijos procese, apdorojant sudėtingas puslaidininkines ir kompozitines puslaidininkines medžiagas. Rezultatas – pailgintas grafito komponento tarnavimo laikas, išsaugoma reakcijos stechiometrija, slopinama priemaišų migracija į epitaksiją ir kristalų auginimą, todėl padidėja derlius ir kokybė.

Mūsų tantalo karbido (TaC) dangos apsaugo svarbiausius krosnies ir reaktoriaus komponentus aukštoje temperatūroje (iki 2200°C) nuo karšto amoniako, vandenilio, silicio garų ir išlydytų metalų. „VeTek Semiconductor“ turi daugybę grafito apdorojimo ir matavimo galimybių, kad atitiktų jūsų individualius reikalavimus, todėl galime pasiūlyti mokamą dangą arba visas paslaugas, o mūsų ekspertų inžinierių komanda yra pasiruošusi sukurti tinkamą sprendimą jums ir jūsų konkrečiam pritaikymui. .

Sudėtiniai puslaidininkiniai kristalai

„VeTek Semiconductor“ gali pateikti specialias TaC dangas įvairiems komponentams ir laikikliams. Per VeTek Semiconductor pramonėje pirmaujantį dengimo procesą, TaC danga gali gauti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir didelį cheminį atsparumą, taip pagerindama kristalų TaC / GaN) ir EPl sluoksnių kokybę ir pailgindama svarbiausių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką.

Šilumos izoliatoriai

SiC, GaN ir AlN kristalų auginimo komponentai, įskaitant tiglius, sėklų laikiklius, deflektorius ir filtrus. Pramoniniai mazgai, įskaitant varžinius kaitinimo elementus, purkštukus, ekranavimo žiedus ir litavimo įtaisus, GaN ir SiC epitaksinius CVD reaktorių komponentus, įskaitant plokštelių laikiklius, palydovinius padėklus, dušo galvutes, dangtelius ir pjedestalus, MOCVD komponentus.

Paskirtis:

LED (šviesos diodų) plokštelių laikiklis

ALD (puslaidininkinis) imtuvas

EPI receptorius (SiC epitaksijos procesas)

TaC dengtas palydovinis susceptorius TaC dangos susceptorius ir žiedas TaC dangos dalys Pusmėnulio dalys su TaC danga

SiC dangos ir TaC dangos palyginimas:

	SiC	TaC
Pagrindinės funkcijos	Itin aukštas grynumas, puikus atsparumas plazmai	Puikus stabilumas aukštoje temperatūroje (aukštos temperatūros proceso atitiktis)
Grynumas	>99,9999 %	>99,9999 %
Tankis (g/cm 3)	3.21	15
Kietumas (kg/mm2)	2900-3300	6,7-7,2
Atsparumas [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Šilumos laidumas (W/m-K)	200-360	22
Šiluminio plėtimosi koeficientas (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Taikymas	Puslaidininkinės įrangos keramika (fokusavimo žiedas, dušo galvutė, manekeno plokštelė)	SiC Single kristalų augimas, Epi, UV LED įrangos dalys

View as

TaC dangos šildytuvas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis „TaC Coating Heater“ gamintojas ir novatorius Kinijoje. Šis produktas turi itin aukštą lydymosi temperatūrą (apie 3880°C). Aukšta TaC Coating Heater lydymosi temperatūra leidžia jam veikti itin aukštoje temperatūroje, ypač augant galio nitrido (GaN) epitaksiniams sluoksniams metalo organinio cheminio nusodinimo garais (MOCVD) procese. „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC padengtas griebtuvas

Kaip profesionalus „TaC Coated Chuck“ gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, „VeTek Semiconductor's TaC Coating Chuck“ yra specialiai sukurtas puslaidininkinėms krosnims. Dėl savo atsparumo aukštai temperatūrai, cheminio inertiškumo ir puikių eksploatacinių savybių, Vetek Semiconductor novatoriška technologija yra patikimas sprendimas puslaidininkių gamybos pramonei, užtikrinantis aukštos kokybės gamybos standartus. Tikime, kad mūsų produktai gali suteikti jums pažangių technologijų ir aukštos kokybės produktų sprendimų.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC dangos vamzdis

Kaip profesionalus „TaC Coating Tube“ gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, „VeTek Semiconductor“ TaC dangos vamzdis yra pagrindinė sėkmingo silicio karbido monokristalų augimo sudedamoji dalis. Dėl savo atsparumo aukštai temperatūrai, cheminio inertiškumo ir puikių eksploatacinių savybių jis užtikrina aukštos kokybės kristalų gamybą ir nuoseklius rezultatus. Pasitikėkite mūsų novatoriškais sprendimais, kad pagerintumėte savo PVT metodu SiC kristalų augimo procesą ir pasieksite puikių rezultatų. Sveiki atvykę į mūsų užklausą.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

CVD TAC danga

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis CVD TAC dangos gamintojas, novatorius ir lyderis Kinijoje. Daugelį metų daugiausia dėmesio skiriame įvairiems CVD TAC dangos gaminiams, tokiems kaip CVD TaC dangos dangtis, CVD TaC dangos žiedas, CVD TaC dangos laikiklis ir kt. VeTek Semiconductor palaiko pritaikytas gaminių paslaugas ir patenkinamas produktų kainas ir laukia jūsų tolesnio konsultacija.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC dangos atsarginė dalis

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus „TaC Coating Plate“ ir kitų „TaC Coating“ atsarginių dalių gamintojas Kinijoje. TaC danga šiuo metu daugiausia naudojama tokiuose procesuose kaip silicio karbido monokristalų auginimas (PVT metodas), epitaksinis diskas (įskaitant silicio karbido epitaksiją, LED epitaksiją) ir kt. Kartu su geru ilgalaikiu TaC dangos plokštės stabilumu, VeTek Semiconductor TaC „Coating Plate“ tapo „TaC Coating“ atsarginių dalių etalonu. Tikimės, kad tapsite mūsų ilgalaikiu partneriu.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

GaN ant SiC epi akceptoriaus

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus GaN ant SiC epi susceptoriaus, CVD SiC dangos ir CVD TAC COATING grafito susceptoriaus gamintojas Kinijoje. Tarp jų GaN ant SiC epi susceptoriaus vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį puslaidininkių apdorojime. Dėl puikaus šilumos laidumo, aukštos temperatūros apdorojimo ir cheminio stabilumo jis užtikrina aukštą GaN epitaksinio augimo proceso efektyvumą ir medžiagų kokybę. Nuoširdžiai laukiame tolesnės jūsų konsultacijos.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

<1 2 3 4 5...7 >

Kaip profesionalus SiC epitaksijos procesas gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kurios atitiktų konkrečius jūsų regiono poreikius, ar norite įsigyti pažangių ir patvarių SiC epitaksijos procesas, pagamintų Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.