Kinija SiC epitaksijos procesas Gamintojas, tiekėjas, gamykla

Unikalios „VeTek Semiconductor“ karbido dangos užtikrina puikią grafito dalių apsaugą SiC epitaksijos procese, apdorojant sudėtingas puslaidininkines ir kompozitines puslaidininkines medžiagas. Rezultatas – pailgintas grafito komponento tarnavimo laikas, išsaugoma reakcijos stechiometrija, slopinama priemaišų migracija į epitaksiją ir kristalų auginimą, todėl padidėja derlius ir kokybė.

Mūsų tantalo karbido (TaC) dangos apsaugo svarbiausius krosnies ir reaktoriaus komponentus aukštoje temperatūroje (iki 2200°C) nuo karšto amoniako, vandenilio, silicio garų ir išlydytų metalų. „VeTek Semiconductor“ turi daugybę grafito apdorojimo ir matavimo galimybių, kad atitiktų jūsų individualius reikalavimus, todėl galime pasiūlyti mokamą dangą arba visas paslaugas, o mūsų ekspertų inžinierių komanda yra pasiruošusi sukurti tinkamą sprendimą jums ir jūsų konkrečiam pritaikymui. .

Sudėtiniai puslaidininkiniai kristalai

„VeTek Semiconductor“ gali pateikti specialias TaC dangas įvairiems komponentams ir laikikliams. Per VeTek Semiconductor pramonėje pirmaujantį dengimo procesą, TaC danga gali gauti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir didelį cheminį atsparumą, taip pagerindama kristalų TaC / GaN) ir EPl sluoksnių kokybę ir pailgindama svarbiausių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką.

Šilumos izoliatoriai

SiC, GaN ir AlN kristalų auginimo komponentai, įskaitant tiglius, sėklų laikiklius, deflektorius ir filtrus. Pramoniniai mazgai, įskaitant varžinius kaitinimo elementus, purkštukus, ekranavimo žiedus ir litavimo įtaisus, GaN ir SiC epitaksinius CVD reaktorių komponentus, įskaitant plokštelių laikiklius, palydovinius padėklus, dušo galvutes, dangtelius ir pjedestalus, MOCVD komponentus.

Paskirtis:

LED (šviesos diodų) plokštelių laikiklis

ALD (puslaidininkinis) imtuvas

EPI receptorius (SiC epitaksijos procesas)

TaC dengtas palydovinis susceptorius TaC dangos susceptorius ir žiedas TaC dangos dalys Pusmėnulio dalys su TaC danga

SiC dangos ir TaC dangos palyginimas:

	SiC	TaC
Pagrindinės funkcijos	Itin aukštas grynumas, puikus atsparumas plazmai	Puikus stabilumas aukštoje temperatūroje (aukštos temperatūros proceso atitiktis)
Grynumas	>99,9999 %	>99,9999 %
Tankis (g/cm 3)	3.21	15
Kietumas (kg/mm2)	2900-3300	6,7-7,2
Atsparumas [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Šilumos laidumas (W/m-K)	200-360	22
Šiluminio plėtimosi koeficientas (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Taikymas	Puslaidininkinės įrangos keramika (fokusavimo žiedas, dušo galvutė, manekeno plokštelė)	SiC Single kristalų augimas, Epi, UV LED įrangos dalys

View as

TaC padengtas trijų žiedlapių žiedas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti TaC dengtų trijų žiedlapių žiedų gamintoja ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės TaC ir SiC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi atsparumu korozijai ir dideliu stiprumu. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Tantalo karbidu padengtas griebtuvas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis tantalo karbidu dengtų griebtuvų gamintojas ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės TaC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu ir atsparumu aukštai temperatūrai iki 2000 ℃. Tikimės, kad tapsime jūsų ilgalaikiu partneris Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Tantalo karbidu padengtas dangtelis

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbidu dengtų dangčių gamintoja ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės taC ir SiC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi atsparumu korozijai ir dideliu stiprumu. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Itin gryno grafito apatinis pusmėnulis

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti pritaikyto „Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon“ tiekėja Kinijoje, daugelį metų besispecializuojanti pažangių medžiagų gamyboje. Mūsų „Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon“ yra specialiai sukurtas SiC epitaksinei įrangai, todėl užtikrinamas puikus veikimas. Pagaminta iš itin gryno importuoto grafito, užtikrina patikimumą ir ilgaamžiškumą. Apsilankykite mūsų gamykloje Kinijoje ir patys ištirkite mūsų aukštos kokybės „Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon“.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Viršutinė pusmėnulio dalis padengta SiC

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis pritaikytos viršutinės pusmėnulio dalies SiC dengtos SiC tiekėjas Kinijoje, daugiau nei 20 metų besispecializuojantis pažangiose medžiagose. „VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part“ SiC padengta yra specialiai sukurta SiC epitaksinei įrangai, kuri yra esminis reakcijos kameros komponentas. Pagaminta iš itin gryno puslaidininkinio grafito, užtikrina puikų veikimą. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Silicio karbido epitaksinis plokštelių laikiklis

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis pritaikytų silicio karbido epitaksinių plokštelių nešiklio tiekėjas Kinijoje. Mes specializuojamės pažangių medžiagų gamyboje daugiau nei 20 metų. Siūlome silicio karbido epitaksinių plokštelių laikiklį, skirtą SiC substratui nešti, SiC epitaksinio sluoksnio auginimui SiC epitaksiniame reaktoriuje. Šis silicio karbido epitaksinis plokštelių laikiklis yra svarbi SiC dengta pusmėnulio dalies dalis, atspari aukštai temperatūrai, atsparumas oksidacijai, atsparumas dilimui. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

<...3 4 5 6 7 >

Kaip profesionalus SiC epitaksijos procesas gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kurios atitiktų konkrečius jūsų regiono poreikius, ar norite įsigyti pažangių ir patvarių SiC epitaksijos procesas, pagamintų Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.