TaC dangos kreipiamasis žiedas

VeTek Semiconductor's TaC Coating Guide Ring yra sukurtas dengiant tantalo karbido dangą ant grafito dalių, naudojant labai pažangią techniką, vadinamą cheminiu garų nusodinimu (CVD). Šis metodas yra nusistovėjęs ir pasižymi išskirtinėmis dangos savybėmis. Naudojant TaC dangos kreipiamąjį žiedą, grafito komponentų tarnavimo laikas gali būti žymiai pailgintas, grafito priemaišų judėjimas gali būti slopinamas, o SiC ir AIN monokristalų kokybė gali būti patikimai palaikoma. Sveiki atvykę į mūsų paklausimą.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus Kinijos TaC dangos kreipiamojo žiedo, TaC dangos tiglio, sėklų laikiklio gamintojas ir tiekėjas.

TaC danga Tiglis, sėklų laikiklis ir TaC dangos kreipiamasis žiedas SiC ir AIN monokristalinėje krosnyje buvo auginami PVT metodu.

Kai SiC paruošti naudojamas fizinis garų transportavimo metodas (PVT), sėklinis kristalas yra santykinai žemos temperatūros srityje, o SiC žaliava yra santykinai aukštos temperatūros srityje (virš 2400 ℃). Žaliavos skilimo metu susidaro SiXCy (daugiausia įskaitant Si, SiC₂, Si2C ir kt.). Garų fazės medžiaga pernešama iš aukštos temperatūros srities į sėklinį kristalą žemos temperatūros regione, susidaro branduoliai ir auga. Kad susidarytų vienas kristalas. Šiame procese naudojamos šiluminio lauko medžiagos, tokios kaip tiglis, srauto kreipiklio žiedas, sėklinių kristalų laikiklis, turi būti atsparios aukštai temperatūrai ir neteršia SiC žaliavų ir SiC monokristalų. Panašiai, AlN monokristalų augimo kaitinimo elementai turi būti atsparūs Al garams, N₂ korozijai ir turi turėti aukštą eutektinę temperatūrą (ir AlN), kad sutrumpėtų kristalų paruošimo laikotarpis.

Nustatyta, kad TaC dengtos grafito šiluminio lauko medžiagos paruoštos SiC ir AlN buvo švaresnės, beveik nebuvo anglies (deguonies, azoto) ir kitų priemaišų, mažiau briaunų defektų, mažesnė varža kiekviename regione, mikroporų tankis ir ėsdinimo duobės tankis. žymiai sumažėjo (po KOH ėsdinimo), o kristalų kokybė labai pagerėjo. Be to, TaC tiglio svorio netekimo greitis yra beveik lygus nuliui, išvaizda yra neardoma, gali būti perdirbama (eksploatavimo laikas iki 200 val.), gali pagerinti tokio monokristalinio paruošimo tvarumą ir efektyvumą.

TaC dangos kreipiamojo žiedo gaminio parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitasis spinduliavimas	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10-5 Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)