Kinija SiC epitaksijos procesas Gamintojas, tiekėjas, gamykla

Unikalios „VeTek Semiconductor“ karbido dangos užtikrina puikią grafito dalių apsaugą SiC epitaksijos procese, apdorojant sudėtingas puslaidininkines ir kompozitines puslaidininkines medžiagas. Rezultatas – pailgintas grafito komponento tarnavimo laikas, išsaugoma reakcijos stechiometrija, slopinama priemaišų migracija į epitaksiją ir kristalų auginimą, todėl padidėja derlius ir kokybė.

Mūsų tantalo karbido (TaC) dangos apsaugo svarbiausius krosnies ir reaktoriaus komponentus aukštoje temperatūroje (iki 2200°C) nuo karšto amoniako, vandenilio, silicio garų ir išlydytų metalų. „VeTek Semiconductor“ turi daugybę grafito apdorojimo ir matavimo galimybių, kad atitiktų jūsų individualius reikalavimus, todėl galime pasiūlyti mokamą dangą arba visas paslaugas, o mūsų ekspertų inžinierių komanda yra pasiruošusi sukurti tinkamą sprendimą jums ir jūsų konkrečiam pritaikymui. .

Sudėtiniai puslaidininkiniai kristalai

„VeTek Semiconductor“ gali pateikti specialias TaC dangas įvairiems komponentams ir laikikliams. Per VeTek Semiconductor pramonėje pirmaujantį dengimo procesą, TaC danga gali gauti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir didelį cheminį atsparumą, taip pagerindama kristalų TaC / GaN) ir EPl sluoksnių kokybę ir pailgindama svarbiausių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką.

Šilumos izoliatoriai

SiC, GaN ir AlN kristalų auginimo komponentai, įskaitant tiglius, sėklų laikiklius, deflektorius ir filtrus. Pramoniniai mazgai, įskaitant varžinius kaitinimo elementus, purkštukus, ekranavimo žiedus ir litavimo įtaisus, GaN ir SiC epitaksinius CVD reaktorių komponentus, įskaitant plokštelių laikiklius, palydovinius padėklus, dušo galvutes, dangtelius ir pjedestalus, MOCVD komponentus.

Paskirtis:

LED (šviesos diodų) plokštelių laikiklis

ALD (puslaidininkinis) imtuvas

EPI receptorius (SiC epitaksijos procesas)

TaC dengtas palydovinis susceptorius TaC dangos susceptorius ir žiedas TaC dangos dalys Pusmėnulio dalys su TaC danga

SiC dangos ir TaC dangos palyginimas:

	SiC	TaC
Pagrindinės funkcijos	Itin aukštas grynumas, puikus atsparumas plazmai	Puikus stabilumas aukštoje temperatūroje (aukštos temperatūros proceso atitiktis)
Grynumas	>99,9999 %	>99,9999 %
Tankis (g/cm 3)	3.21	15
Kietumas (kg/mm2)	2900-3300	6,7-7,2
Atsparumas [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Šilumos laidumas (W/m-K)	200-360	22
Šiluminio plėtimosi koeficientas (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Taikymas	Puslaidininkinės įrangos keramika (fokusavimo žiedas, dušo galvutė, manekeno plokštelė)	SiC Single kristalų augimas, Epi, UV LED įrangos dalys

View as

TaC dangos planetinis susceptorius

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor yra išskirtinis produktas, skirtas Aixtron epitaksijos įrangai. Tvirta TaC danga užtikrina puikų atsparumą aukštai temperatūrai ir cheminį inertiškumą. Šis unikalus derinys užtikrina patikimą veikimą ir ilgą tarnavimo laiką net ir sudėtingoje aplinkoje. VeTek yra įsipareigojusi teikti aukštos kokybės produktus ir būti ilgalaikiu partneriu Kinijos rinkoje su konkurencingomis kainomis.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC dangos pjedestalo atraminė plokštė

„VeTek Semiconductor“ TaC dangos pjedestalo atraminė plokštė yra didelio tikslumo gaminys, sukurtas taip, kad atitiktų specifinius puslaidininkių epitaksijos procesų reikalavimus. Dėl savo TaC dangos, atsparumo aukštai temperatūrai ir cheminio inertiškumo mūsų gaminys suteikia galimybę gaminti aukštos kokybės aukštos kokybės EPI sluoksnius. Esame įsipareigoję teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC dangos griebtuvas

VeTek Semiconductor's TaC Coating Chuck turi aukštos kokybės TaC dangą, žinomą dėl savo išskirtinio atsparumo aukštai temperatūrai ir cheminio inertiškumo, ypač silicio karbido (SiC) epitaksijos (EPI) procesuose. Mūsų TaC dangos griebtuvas pasižymi išskirtinėmis savybėmis ir puikiu našumu. Esame įsipareigoję teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

LPE SiC EPI Pusmėnulis

VeTek Semiconductor LPE SiC Epi Halfmoon – revoliucinis produktas, skirtas LPE reaktoriaus SiC epitaksijos procesams pagerinti. Šis pažangiausias sprendimas pasižymi keliomis pagrindinėmis savybėmis, kurios užtikrina puikų našumą ir efektyvumą visose gamybos operacijose. Tikimės užmegzti ilgalaikį bendradarbiavimą su jumis.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis tantalo karbido TaC padengto pusmėnulio gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes specializuojamės MTTP ir gamyboje, galime gerai kontroliuoti kokybę ir pasiūlyti konkurencingą kainą. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje ir toliau diskutuoti apie ilgalaikį bendradarbiavimą.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

TaC padengtas trijų žiedlapių žiedas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti TaC dengtų trijų žiedlapių žiedų gamintoja ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės TaC ir SiC dangų gamyboje. Mūsų gaminiai pasižymi atsparumu korozijai ir dideliu stiprumu. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

<1 2 3 4 >

Kaip profesionalus SiC epitaksijos procesas gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kurios atitiktų konkrečius jūsų regiono poreikius, ar norite įsigyti pažangių ir patvarių SiC epitaksijos procesas, pagamintų Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.