TaC padengtas trijų žiedlapių žiedas

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus Kinijos TaC dengto trijų žiedlapių žiedo gamintojas ir tiekėjas. TaC dengtas trijų žiedlapių žiedas naudojamas Aixtron G10 nusodinimo sistemoje, skirtoje sudėtiniams puslaidininkiams, G10-GaN 150/200 mm didelio pralaidumo epitaksijai, skirta GaN galiai ir RF. programos.

VeTek Semiconductor TaC danga yra naujos kartos aukštai temperatūrai atspari medžiaga, pasižyminti geresniu stabilumu aukštoje temperatūroje nei SiC, kaip korozijai atspari danga, oksidacijai atspari danga, dilimui atspari danga, gali būti naudojama aplinkoje, aukštesnėje nei 2000 ℃, plačiai naudojama aviacijos ir kosmoso itin aukštos temperatūros karšto galo dalys, trečios kartos puslaidininkių monokristalų augimas ir kitose srityse.

Prekės savybės:

1. Didelis grynumas, priemaišų kiekis < 5 ppm

2. Atsparumas aukštai temperatūrai, atsparumas korozijai, didelis tankis, didelis tankis

3. Jis yra chemiškai inertiškas amoniakui, vandeniliui, silanui ir siliciui aukštoje temperatūroje ir turi gerą terminį stabilumą.

4. Atsparumas šiluminiam smūgiui, gali pagreitinti veikimo ciklą

5. Stiprus grafito sukibimas užtikrina ilgą tarnavimo laiką ir dangos nesisluoksniavimą.

6. Griežti matmenų nuokrypiai.

Pagrindinės programos:

1. Epitaksinis augimas

2. Vieno kristalo augimas

3. Aukštos temperatūros korozijos nukreipimas

4. Aukštai temperatūrai ir oksidacijai atsparus antgalis

5. Dujų turbinos mentės

TaC padengto trijų žiedlapių žiedo gaminio parametras

„VeTek“ puslaidininkių gamybos parduotuvė