TaC dangos atsarginė dalis

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus „TaC Coating Plate“ ir kitų „TaC Coating“ atsarginių dalių gamintojas Kinijoje. TaC danga šiuo metu daugiausia naudojama tokiuose procesuose kaip silicio karbido monokristalų auginimas (PVT metodas), epitaksinis diskas (įskaitant silicio karbido epitaksiją, LED epitaksiją) ir kt. Kartu su geru ilgalaikiu TaC dangos plokštės stabilumu, VeTek Semiconductor TaC „Coating Plate“ tapo „TaC Coating“ atsarginių dalių etalonu. Tikimės, kad tapsite mūsų ilgalaikiu partneriu.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„VeTek“ puslaidininkisTaC dangos plokštėyra speciali medžiaga, plačiai naudojamapuslaidininkisgamybos procesas. Kartu su dideliu kietumu ir atsparumu dilimui, atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumu korozijai, mažu trinties koeficientu ir geru šilumos laidumu, TaC dangos plokštė vaidina nepakeičiamą vaidmenį daugelyje puslaidininkių apdorojimo grandžių.

Paprastai taikomosios programosTaC dengtos plokštėspuslaidininkių apdorojimas yra toks:

CVD/ALD augimo substratas: TaC padengtų plokščių atsparumas aukštai temperatūrai, cheminis stabilumas ir mažas trinties koeficientas daro juos idealiais CVD/ALD augimo substratais. Jis gali užtikrinti stabilią augimo aplinką, kad būtų užtikrintas plėvelės vienodumas ir tankis.

Oforto kaukės plokštelė: Didelis TaC dengtų plokščių kietumas ir atsparumas korozijai leidžia joms atlaikyti daug energijos reikalaujančius procesus, tokius kaip ėsdinimas plazmoje, kaip ėsdinimo kaukės plokštės, apsaugančios apatinę plėvelę.

CMP poliravimo padas: Dėl atsparumo dilimui ir mažo trinties koeficiento TaC padengtos plokštės yra ideali medžiaga CMP poliravimo pagalvėlėms, kurios gali veiksmingai pašalinti daleles ir defektus ant plėvelės paviršiaus.

Aukštos temperatūros krosnies vamzdis: TaC padengtų plokščių atsparumas aukštai temperatūrai ir atsparumas korozijai leidžia jas naudoti kaip krosnių vamzdžius aukštos temperatūros krosnyse, skirtose atkaitinimui, difuzijai ir kitiems procesams.

Kartu su produkto savybėmisTaC dangos plokštė, tai lemia, kad šis gaminys atlieka nepakeičiamą pagrindinį vaidmenį gerinant įrenginio veikimą, ilginant įrangos tarnavimo laiką ir didinant gamybos efektyvumą.

Kaip profesionalus gamintojasGaN ant SiC epi akceptoriaus, Porėtas grafitasirTaC dangos plokštėKinijoje „VeTek Semiconductor“ visada reikalauja teikti pritaikytas produktų paslaugas ir yra įsipareigojusi teikti pramonei aukščiausios kokybės technologijas ir produktų sprendimus. Nuoširdžiai laukiame tolesnės jūsų konsultacijos.

CVD TAC COATING Techniniai parametrai：