TaC dangos šildytuvas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis „TaC Coating Heater“ gamintojas ir novatorius Kinijoje. Šis produktas turi itin aukštą lydymosi temperatūrą (apie 3880°C). Aukšta TaC Coating Heater lydymosi temperatūra leidžia jam veikti itin aukštoje temperatūroje, ypač augant galio nitrido (GaN) epitaksiniams sluoksniams metalo organinio cheminio nusodinimo garais (MOCVD) procese. „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

TaC Coating Heater yra didelio našumo kaitinimo elementas, plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose. Jo paviršius padengtas tantalo karbido (TaC) medžiaga, kuri suteikia šildytuvui puikų atsparumą aukštai temperatūrai, atsparumą cheminei korozijai ir puikų šilumos laidumą.

Pagrindinės „TaC Coating Heater“ taikymo sritys puslaidininkių gamyboje yra šios:

Galio nitrido (GaN) epitaksinio augimo proceso metu TaC Coating Heater užtikrina tiksliai kontroliuojamą aukštos temperatūros aplinką, užtikrinančią, kad epitaksinis sluoksnis ant pagrindo būtų nusodintas vienodu greičiu ir kokybiškai. Jo stabili šilumos išeiga padeda tiksliai valdyti plonos plėvelės medžiagas ir taip pagerinti įrenginio veikimą.

Be to, metalo organinio cheminio nusodinimo garais (MOCVD) procese kartu su TaC dangos atsparumu aukštai temperatūrai ir šilumos laidumu, TaC dangos šildytuvas paprastai naudojamas reakcijos dujoms šildyti, o užtikrinant vienodą šilumos paskirstymą, jis skatina jo cheminė reakcija ant pagrindo paviršiaus, taip pagerinant epitaksinio sluoksnio vienodumą ir suformuojant aukštos kokybės plėvelę.

„VeTek Semiconducto“, kaip „TaC Coating Heater“ produktų pramonės lyderė, visada palaiko produktų pritaikymo paslaugas ir patenkinamas produktų kainas. Nesvarbu, kokie yra jūsų specifiniai reikalavimai, mes parinksime geriausią sprendimą jūsų TaC Coating Heater poreikiams ir lauksime jūsų konsultacijos bet kuriuo metu.

Pagrindinės fizinės TaC dangos šildytuvo savybės:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Resistance	1×10-5 Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)