Silicio karbido vaflių griebtuvas

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck naudoja puikias silicio karbido medžiagų savybes, kad atitiktų griežtus puslaidininkių gamybos reikalavimus, ypač apdorojant puslaidininkius, kuriems reikalingas itin didelis tikslumas ir patikimumas.

Puslaidininkių apdorojimo procese,Silicio karbidasturi puikų atsparumą aukštai temperatūrai (gali stabiliai dirbti iki 1400°C), mažą laidumą (SiC turi santykinai mažą laidumą, paprastai 10^^-3S/m) ir mažo šiluminio plėtimosi koeficiento (apie 4,0 × 10^^-6/°C), kuri yra nepakeičiama ir svarbi medžiaga, ypač tinkama silicio karbido plokštelių griebtuvui gaminti.

Perepitaksinis augimo procesas, ant pagrindo nusodinamas plonas puslaidininkinės medžiagos sluoksnis, kuriam reikalingas absoliutus plokštelės stabilumas, kad būtų užtikrinti vienodi ir kokybiški plėvelės nusodinimo sluoksniai. SiC vakuuminis griebtuvas tai pasiekia sukurdamas tvirtą, nuoseklų vakuumo laikymą, kad būtų išvengta bet kokio plokštelės judėjimo ar deformacijos.

Silicio karbido griebtuvas taip pat pasižymi puikiu atsparumu šiluminiam smūgiui. Greiti temperatūros pokyčiai yra dažni puslaidininkių gamyboje, o medžiagos, kurios negali atlaikyti šių svyravimų, gali įtrūkti, sulenkti arba sugesti. Silicio karbidas turi mažą šiluminio plėtimosi koeficientą ir gali išlaikyti savo formą ir funkciją net esant drastiškiems temperatūros pokyčiams, užtikrinant, kad plokštelė išliks saugi epitaksijos proceso metu, nejudėtų ar nesutaptų.

Be to,epitaksijos procesasdažnai apima reaktyvias dujas ir kitas ėsdinančias chemines medžiagas. Cheminis SiC Wafer Chuck inertiškumas užtikrina, kad jo nepaveiktų ši atšiauri aplinka, išlaikomas jo veikimas ir pailgėja tarnavimo laikas. Šis cheminis patvarumas ne tik sumažina Wafer Chuck keitimo dažnumą, bet ir užtikrina pastovų gaminio veikimą per kelis gamybos ciklus, padeda pagerinti bendrą puslaidininkių gamybos proceso efektyvumą ir ekonomiškumą.

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti silicio karbido „Wafer Chuck“ gaminių gamintoja ir tiekėja Kinijoje. Galime pateikti įvairių tipų Chuck gaminius, pvzPorėtas SiC keramikinis griebtuvas, Poringas SiC vakuuminis griebtuvas, Porėtas keramikinis vakuuminis griebtuvasirTaC padengtas griebtuvasir tt VeTek Semiconductor yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

SEM DUOMENYS CVDSIC FILM KRISTOLŲ STRUKTŪRA：

„VeTek“ puslaidininkių silicio karbido plokštelių griebtuvų parduotuvės：