TaC dangos planetinis susceptorius

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor yra išskirtinis produktas, skirtas Aixtron epitaksijos įrangai. Tvirta TaC danga užtikrina puikų atsparumą aukštai temperatūrai ir cheminį inertiškumą. Šis unikalus derinys užtikrina patikimą veikimą ir ilgą tarnavimo laiką net ir sudėtingoje aplinkoje. VeTek yra įsipareigojusi teikti aukštos kokybės produktus ir būti ilgalaikiu partneriu Kinijos rinkoje su konkurencingomis kainomis.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Puslaidininkių gamybos srityje TaC dangos planetinis susceptorius vaidina lemiamą vaidmenį. Jis plačiai naudojamas silicio karbido (SiC) epitaksiniams sluoksniams auginti tokioje įrangoje kaip Aixtron G5 sistema. Be to, kai naudojamas kaip išorinis diskas tantalo karbido (TaC) dangos nusodinimui SiC epitaksijai, TaC dangos planetinis susceptorius užtikrina esminę atramą ir stabilumą. Tai užtikrina tolygų tantalo karbido sluoksnio nusodinimą, prisidedant prie aukštos kokybės epitaksinių sluoksnių, turinčių puikią paviršiaus morfologiją ir pageidaujamą plėvelės storį, susidarymą. TaC dangos cheminis inertiškumas apsaugo nuo nepageidaujamų reakcijų ir užteršimo, išlaiko epitaksinių sluoksnių vientisumą ir užtikrina aukštą jų kokybę.

Išskirtinis TaC dangos šilumos laidumas užtikrina efektyvų šilumos perdavimą, skatina tolygų temperatūros pasiskirstymą ir sumažina šiluminį įtampą epitaksinio augimo proceso metu. Dėl to gaminami aukštos kokybės SiC epitaksiniai sluoksniai su patobulintomis kristalografinėmis savybėmis ir padidintu elektros laidumu.

Dėl tikslių matmenų ir tvirtos „TaC Coating Planetary Disk“ konstrukcijos jį lengva integruoti į esamas sistemas, todėl užtikrinamas sklandus suderinamumas ir efektyvus veikimas. Patikimas veikimas ir aukštos kokybės TaC danga prisideda prie nuoseklių ir vienodų SiC epitaksijos procesų rezultatų.

Pasitikėkite VeTek Semiconductor ir mūsų TaC Coating Planetary Disk dėl išskirtinio našumo ir patikimumo SiC epitaksijoje. Patirkite mūsų novatoriškų sprendimų privalumus ir atsidursite puslaidininkių pramonės technologijų pažangos priešakyje.

Mes tiekiame TaC dangos ir SiC dangos atsargines dalis:

TaC dangos planetinio susceptoriaus gaminio parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10-5 Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)