Aukšto grynumo SiC konsolinis irklas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis didelio grynumo SiC konsolinių irklų gamintojas ir novatorius Kinijoje. Didelio grynumo SiC konsolinės mentelės dažniausiai naudojamos puslaidininkinėse difuzinėse krosnyse kaip plokštelių perdavimo arba pakrovimo platformos. „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Didelio grynumo SiC konsolinis irklas yra pagrindinis komponentas, naudojamas puslaidininkių apdorojimo įrangoje. Produktas pagamintas iš didelio grynumo silicio karbido (SiC) medžiagos. Kartu su puikiomis didelio grynumo, aukšto šiluminio stabilumo ir atsparumo korozijai savybėmis jis plačiai naudojamas tokiuose procesuose kaip plokštelių perkėlimas, palaikymas ir apdorojimas aukštoje temperatūroje, užtikrinant patikimą proceso tikslumo ir gaminio kokybės užtikrinimą.

Paprastai didelio grynumo SiC konsolinis irklas puslaidininkių apdorojimo procese atlieka šiuos specifinius vaidmenis:

Vaflių perkėlimas: Aukšto grynumo SiC konsolinis irklas paprastai naudojamas kaip plokštelių perkėlimo įtaisas aukštos temperatūros difuzijos arba oksidacijos krosnyse. Dėl didelio kietumo jis yra atsparus dėvėjimuisi ir nėra lengvas deformuotis ilgą laiką naudojant, ir gali užtikrinti, kad plokštelė išliks tiksli perkėlimo proceso metu. Kartu su aukšta temperatūra ir atsparumu korozijai, jis gali saugiai perkelti plokšteles į krosnies vamzdį ir iš jo esant aukštai temperatūrai, nesukeldamas jokio užteršimo ar sugadinimo plokštelėms.

Vaflių atrama: SiC medžiaga turi mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, o tai reiškia, kad keičiantis temperatūrai jos dydis kinta mažiau, o tai padeda išlaikyti tikslią proceso kontrolę. Cheminio nusodinimo iš garų (CVD) arba fizinio garų nusodinimo (PVD) procesuose SiC konsolinė mentelė naudojama plokštelei palaikyti ir pritvirtinti, siekiant užtikrinti, kad plokštelė nusodinimo proceso metu išliktų stabili ir plokščia, taip pagerinant plėvelės vienodumą ir kokybę. .

Aukštos temperatūros procesų taikymas: SiC konsolinis irklas turi puikų terminį stabilumą ir gali atlaikyti iki 1600°C temperatūrą. Todėl šis produktas plačiai naudojamas aukštos temperatūros atkaitinimo, oksidacijos, difuzijos ir kituose procesuose.

Pagrindinės fizinės didelio grynumo SiC konsolinio irklo savybės: