VEECO MOCVD šildytuvas

VeTeksemi VEECO MOCVD šildytuvas yra pagamintas iš labai grynos grafito medžiagos, kurios priemaišų kiekis griežtai kontroliuojamas mažesnis nei 5 ppm, ir padengtas ypač didelio grynumo silicio karbidu (SiC), kurio grynumas yra didesnis nei 99,99995 %.cheminio nusodinimo garais (CVD) procesas. Šis medžiagų derinys suteikia šildytuvui keletą pagrindinių savybių, kurios užtikrina puikų jo veikimąmetalo organinis cheminis nusodinimas garais (MOCVD)procesas.

Viena iš išskirtinių VEECO MOCVD šildytuvo savybių yra nepaprastas cheminis grynumas. Didelio grynumo grafito šerdis labai sumažina galimą teršalų patekimą aukštos temperatūros procese ir užtikrina itin švarų plėvelės nusodinimo procesą. TheCVD SiC dangasuteikia papildomą apsaugą šildytuvui, sudarydama tvirtą barjerą, neleidžiantį atsirasti cheminėms reakcijoms, kurios gali pakenkti plėvelės kokybei. Šis neprilygstamas grynumas yra būtinas gaminant didelio našumo, patikimus puslaidininkinius įtaisus.

Tuo pačiu metu šildytuvas pasižymi itin dideliu šiluminiu stabilumu ir efektyvumu. SiC turi aukštą lydymosi temperatūrą ir puikų šilumos laidumą, todėl šildytuvas gali efektyviai valdyti ir praleisti šilumą. Tai užtikrina tolygų kaitinimą visame pagrinde, o tai savo ruožtu padeda pasiekti vienodą plėvelės nusėdimą ir sumažinti defektus, atsirandančius dėl šiluminių gradientų. Toks šiluminis efektyvumas ypač svarbus precizinei gamybai.

VEECO MOCVD šildytuvas taip pat išsiskiria elektriniu našumu. Jo didelio grynumo grafito šerdis pasižymi puikiu elektros laidumu, todėl šildytuvas gali atlaikyti didelius elektros apkrovos reikalavimus. Šis stabilus elektrinis veikimas leidžia šildytuvui išlaikyti tikslią temperatūros kontrolę ir nusodinimo greitį esant didelės apkrovos sąlygoms, o tai labai svarbu norint užtikrinti nuoseklias proceso sąlygas ir pagerinti puslaidininkių gamybos efektyvumą.

Šildytuvo paviršiaus konstrukcija buvo kruopščiai optimizuota, kad būtų aukšta substrato spinduliuotė, o tai žymiai pagerina spinduliuotės šilumos perdavimo efektyvumą. Gebėjimas tolygiai šildyti yra pagrindinis veiksnys, užtikrinantis pastovų plėvelės nusodinimo storį ir charakteristikas. Didelės spinduliuotės paviršiaus konstrukcija taip pat pagerina bendrą šildytuvo šiluminį efektyvumą, taip sumažindama energijos sąnaudas ir eksploatavimo išlaidas.

Kalbant apie ilgaamžiškumą, VeTeksemi VEECO MOCVD šildytuvas pasižymi puikiu atsparumu korozijai, atsparumu oksidacijai ir mechaniniam stiprumui. CVD SiC danga suteikia tvirtą barjerą korozinėms dujoms ir cheminėms medžiagoms, įprastoms MOCVD procesuose, taip prailgindama įrangos eksploatavimo laiką ir sumažindama priežiūros poreikius bei pakeitimo išlaidas. Jo atsparumas oksidacijai užtikrina, kad šildytuvas išliks stabilus esant aukštai temperatūrai, nepablogindamas jo veikimo, užtikrindamas ilgalaikį stabilumą.

Be to, didelis mechaninis VeTeksemi MOCVD šildytuvo stiprumas leidžia jam atlaikyti fizinius įtempius, atsirandančius terminio ciklo ir substrato tvarkymo metu. Jo tvirtumas sumažina mechaninio gedimo riziką ir užtikrina patikimą įrangos veikimą atšiauriomis proceso sąlygomis.

Būdama pažangi VEECO MOCVD šildytuvų gamintoja ir tiekėja, VeTeksemi taip pat tiekia įvairius aukštos kokybės šildytuvų gaminius, tokius kaipTaC dangos šildytuvas, Silicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvas, Silicio karbido keraminės dangos šildytuvasir tt „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangias ir pritaikomus technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes nuoširdžiai tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.