Silicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvas

„VeTek“ puslaidininkis Silicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvassujungia puikų grafito elektrinį ir šilumos laidumą su atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumu korozijai ir silicio anglies keraminės dangos atsparumu dilimui, ir yra skirtas atšiaurioms puslaidininkių gamybos aplinkoms. 

Silicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvasdaugiausia naudojamas vakuuminio dengimo (garinimo) įrangoje, o dažniausiai naudojami metodai yra PCD (plazminis cheminis džiovinimas) ir PVD (fizinis nusodinimas garais). Šis produktas vaidino svarbų vaidmenį skatinant technologinę pažangą ir gerinant gamybos efektyvumą puslaidininkių pramonėje.Nuoširdžiai tikimės tolesnio bendradarbiavimo su jumis.

Silicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvo medžiagos ir konstrukcinės savybės yra tokios:

Grafito substratas: Grafitas yra žinomas dėl didelio šilumos laidumo ir mažo šiluminio plėtimosi koeficiento. Jis gali greitai reaguoti į temperatūros pokyčius ir išlaikyti konstrukcijos stabilumą aukštoje temperatūroje.

Silicio anglies keraminė danga: SiC danga tolygiai padengiama grafito paviršiumi cheminiu garų nusodinimu arba kitais pažangiais procesais. SiC pasižymi itin dideliu kietumu ir atsparumu cheminei korozijai, todėl gali apsaugoti grafito substratą nuo aukštos temperatūros oksidacijos ir korozinės aplinkos.

Specialus silicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvo gaminio konstrukcinis dizainas lemianepakeičiamus šio gaminio gaminio pranašumus puslaidininkių apdirbimo procese:

Efektyvus ir vienodas šildymas:

Šilumos laidumas: Didelis grafito šilumos laidumas leidžia šildytuvui greitai pasiekti ir palaikyti reikiamą temperatūrą, o SiC danga užtikrina tolygų šilumos pasiskirstymą. Tai ypač svarbu puslaidininkiniams procesams, kuriems reikalinga tiksli temperatūros kontrolė, pvz., greitas terminis apdorojimas (RTP) ir cheminis nusodinimas garais (CVD).

Temperatūros vienodumas: Tolygiai paskirstydamas šilumą, silicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvas gali veiksmingai sumažinti šiluminį įtampą ir temperatūros gradientą, užtikrindamas puslaidininkinių plokštelių nuoseklumą ir kokybės stabilumą viso šildymo proceso metu.

Apsauga nuo korozijos:

Cheminis atsparumas: SiC dangos atsparumas cheminei korozijai leidžia šildytuvui stabiliai ir ilgą laiką veikti korozinėje dujų ir cheminėje aplinkoje, išvengiant grafito pagrindo pažeidimo. Ši savybė ypač svarbi atliekant tokius procesus kaip cheminis nusodinimas garais (CVD) ir cheminis nusodinimas iš garų plazma (PECVD).

Atsparumas oksidacijai: Esant aukštai temperatūrai, SiC danga gali užkirsti kelią grafito pagrindo oksidacijai, pailginti šildytuvo tarnavimo laiką ir sumažinti įrangos priežiūros dažnumą bei išlaidas.

Sumažinti dalelių užterštumą:

Paviršiaus stabilumas: SiC danga yra ne tik atspari nusidėvėjimui, bet ir neleidžia dalelėms nukristi nuo medžiagos paviršiaus dėl terminio ciklo ar cheminių reakcijų, taip sumažindama užteršimo dalelėmis riziką, kuri gali atsirasti puslaidininkių gamybos metu ir užtikrina aukštą proceso aplinkos švarą.

Pagerinti proceso patikimumą ir efektyvumą:

Ilgaamžis dizainas: Dėl mechaninio grafito stiprumo ir SiC dangos atsparumo dilimui derinio, silicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvas gali ilgą laiką išlaikyti aukšto efektyvumo veikimą atšiauriomis proceso sąlygomis, žymiai pagerindamas bendrą įrangos patikimumą.

Efektyvus energijos panaudojimas: Didelis grafito šilumos laidumas ir SiC dangos stabilumas aukštoje temperatūroje leidžia šildytuvui sumažinti energijos sąnaudas, tuo pačiu pagerinant temperatūros valdymo tikslumą, taip pagerinant bendrą puslaidininkių gamybos efektyvumą.

Pagrindinės fizinės savybėsSilicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvas:

„VeTek“ puslaidininkisSilicio karbido keraminės dangos grafito šildytuvasparduotuvės:

Puslaidininkinių lustų epitaksijos pramonės grandinės apžvalga:

/kitas procesas