Silicio karbido keraminės dangos šildytuvas

„VeTek“ puslaidininkisSilicio karbido keraminės dangos šildytuvas yra šildytuvas, skirtas aukštai temperatūrai ir atšiaurioms aplinkoms. Jis padengia silicio anglies keraminės dangos (SiC) sluoksnį ant kaitinimo elemento paviršiaus, kad įranga būtų puikiai atspari karščiui, atsparumas korozijai ir šilumos laidumas. 

Silicio karbido keraminės dangos šildytuvasdaugiausia naudojamas vakuuminio dengimo (garinimo) įrangoje. Dažniausiai naudojami metodai yra PCD (plazminis cheminis džiovinimas) ir PVD (fizinis nusodinimas iš garų), kurie plačiai naudojami puslaidininkių gamyboje ir kitose didelės paklausos pramoninėse srityse.

Kartu su aukštos kokybės silicio karbido keraminės dangos šildytuvo dangos dizainu,tai gali būti puikus šildymo sprendimas aukštos temperatūros procesams.

Puikus šilumos laidumas: SiC medžiaga turi puikų šilumos laidumą, todėl šildytuvas gali pasiekti vienodą šilumos pasiskirstymą darbo zonoje ir sumažinti temperatūros gradientus.

Užtikrinkite vienodą šilumos paskirstymą: Silicio karbido keraminės dangos šildytuvas naudoja aukštą SiC medžiagos šilumos laidumą, kad būtų pasiektas vienodas temperatūros pasiskirstymas visoje šildymo srityje. Tai labai svarbu norint užtikrinti vienodą puslaidininkinių plokštelių terminį apdorojimą įvairiuose aukštos temperatūros procesuose, tokiuose kaip greitas terminis apdorojimas (RTP), difuzija ir oksidacija, siekiant išvengti gaminio defektų, atsirandančių dėl vietinio perkaitimo ar netolygios temperatūros.

Aukštos temperatūros tolerancija: SiC danga leidžia šildytuvui atlaikyti itin aukštą temperatūrą, paprastai iki 1600°C, tinka įvairiems aukštos temperatūros apdorojimo procesams.

Pagerinti atsparumą karščiui: Kadangi danga gali atlaikyti itin aukštą temperatūrą, ji puikiai atlieka procesus, kuriems reikalingas ilgalaikis veikimas aukštoje temperatūroje. Pavyzdžiui, cheminio nusodinimo garais (CVD) procesuose silicio karbido keraminės dangos šildytuvas gali užtikrinti ilgalaikį stabilų įrangos veikimą aukštoje temperatūroje ir išlaikyti pastovų šildymo efektyvumą, taip pagerindamas proceso pakartojamumą ir patikimumą.

Atsparumas cheminei korozijai: SiC danga pasižymi itin dideliu atsparumu rūgštims, šarmams ir korozinėms dujoms, gali ilgai išlikti stabili sudėtingoje cheminės atmosferos aplinkoje, prailgindama įrangos eksploatavimo laiką. 

Pailginti įrangos eksploatavimo laiką: SiC danga turi puikų atsparumą oksidacijai ir atsparumą korozijai ir gali veiksmingai atsispirti cheminei erozijai ir oksidacijai esant aukštai temperatūrai. Tai labai svarbu puslaidininkių gamybos procese, ypač aplinkoje, kurioje tvarkomos korozinės dujos ir cheminės medžiagos. Apsauginis dangos poveikis gali žymiai pailginti šildytuvo tarnavimo laiką ir sumažinti įrangos keitimo bei priežiūros sąnaudas.

Pagrindinės fizinės silicio karbido keraminės dangos šildytuvo savybės:

„VeTek Semiconductor“ silicio karbido keraminės dangos šildytuvų parduotuvės:

„VeTek“ puslaidininkinių lustų epitaksijos pramonės grandinės apžvalga: