TaC dangos kreipiamieji žiedai

Kaip pirmaujanti TaC Coating Guide Rings gaminių gamintoja Kinijoje, VeTek Semiconductor TaC padengti kreipiamieji žiedai yra svarbūs MOCVD įrangos komponentai, užtikrinantys tikslų ir stabilų dujų tiekimą epitaksinio augimo metu ir nepakeičiama medžiaga puslaidininkių epitaksiniam augimui. Sveiki atvykę pasikonsultuoti su mumis.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

TaC dangos kreipiamųjų žiedų funkcija:

Tikslus dujų srauto valdymas:TaC dangos kreipiamasis žiedasyra strategiškai išdėstytas dujų įpurškimo sistemojeMOCVD reaktorius. jo pagrindinė funkcija yra nukreipti pirmtakų dujų srautą ir užtikrinti vienodą jų pasiskirstymą per substrato plokštelės paviršių. Šis tikslus dujų srauto dinamikos valdymas yra būtinas norint pasiekti vienodą epitaksinio sluoksnio augimą ir norimas medžiagos savybes.

Šilumos valdymas: TaC dangos kreipiamieji žiedai dažnai veikia aukštesnėje temperatūroje, nes jie yra arti šildomo susceptoriaus ir substrato. Puikus TaC šilumos laidumas padeda efektyviai išsklaidyti šilumą, apsaugo nuo vietinio perkaitimo ir palaiko stabilų temperatūros profilį reakcijos zonoje.

TaC privalumai MOCVD:

Atsparumas ekstremalioms temperatūroms: TaC gali pasigirti vienu aukščiausių lydymosi taškų tarp visų medžiagų, viršijančiu 3800°C.

Išskirtinis cheminis inertiškumas: TaC pasižymi išskirtiniu atsparumu korozijai ir cheminiam poveikiui, kurį sukelia reaktyvios pirmtakų dujos, naudojamos MOCVD, pvz., amoniakas, silanas ir įvairūs metalo-organiniai junginiai.

Fizinės savybėsTaC danga:

Fizinės savybėsTaC danga
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitasis spinduliavimas	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6,3*10^-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10^-5Ohm * cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)

MOCVD našumo pranašumai:

VeTek puslaidininkinio TaC dangos kreipiamojo žiedo naudojimas MOCVD įrangoje labai prisideda prie:

Padidėjęs įrangos veikimo laikas: TaC dangos kreipiamojo žiedo ilgaamžiškumas ir pailgėjusi tarnavimo trukmė sumažina poreikį dažnai keisti, sumažinant priežiūros prastovos laiką ir maksimaliai padidinant MOCVD sistemos veikimo efektyvumą.

Padidintas proceso stabilumas: TaC terminis stabilumas ir cheminis inertiškumas prisideda prie stabilesnės ir kontroliuojamos reakcijos aplinkos MOCVD kameroje, sumažinant proceso pokyčius ir pagerinant atkuriamumą.

Pagerintas epitaksinio sluoksnio vienodumas: Tikslus dujų srauto valdymas, kurį palengvina TaC dangos kreipiamieji žiedai, užtikrina vienodą pirmtakų pasiskirstymą, todėl labai vienodasepitaksinio sluoksnio augimasvienodo storio ir sudėties.

Tantalo karbido (TaC) dangaant mikroskopinio skerspjūvio:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

Hot Tags: TaC dangos kreipiamieji žiedai, gamintojas, tiekėjas, TaC dangos žiedas, skirtas MOCVD, pritaikytas, TaC dangos kreipiamasis žiedas, patvarus, pagamintas Kinijoje

Produkto žyma

Susijusi kategorija