Silicio karbido keraminė danga

„Vetek“ puslaidininkis Silicio karbido keraminė dangayra didelio našumo apsauginė danga, pagaminta iš itin kietos ir dilimui atsparios silicio karbido (SiC) medžiagos, kuri užtikrina puikų atsparumą cheminei korozijai ir stabilumą aukštoje temperatūroje. Šios savybės yra labai svarbios puslaidininkių gamyboje, todėl silicio karbido keraminė danga plačiai naudojama pagrindiniams puslaidininkių gamybos įrangos komponentams.

Konkretus „Vetek Semiconductor Silicon Carbide“ keraminės dangos vaidmuo puslaidininkių gamyboje yrataip:

Padidinkite įrangos patvarumą: Silicio karbido keraminė danga užtikrina puikią puslaidininkių gamybos įrangos paviršiaus apsaugą, pasižyminti itin dideliu kietumu ir atsparumu dilimui. Silicio karbido keraminė danga gali veiksmingai užkirsti kelią įrangos paviršiaus pažeidimams dėl cheminės erozijos ar fizinio nusidėvėjimo, ypač esant aukštai temperatūrai, labai ėsdinančioms proceso aplinkoms, tokioms kaip cheminis nusodinimas garais (CVD) ir plazminis ėsdinimas, ir taip žymiai pailginti įrenginio tarnavimo laiką. įrangą ir sumažinti prastovos laiką dėl dažno keitimo ir priežiūros.

Pagerinti proceso grynumą: Puslaidininkių gamybos procese bet koks nedidelis užterštumas gali sukelti gaminio defektus. Silicio karbido keraminės dangos cheminis inertiškumas leidžia jai išlikti stabiliai ekstremaliomis sąlygomis, neleidžia medžiagai išskirti dalelių ar nešvarumų, užtikrina aplinkos grynumą proceso metu. Tai ypač svarbu atliekant gamybos etapus, kuriems reikalingas didelis tikslumas ir didelis švarumas, pvz., PECVD ir jonų implantavimas.

Optimizuokite šilumos valdymą: Apdorojant puslaidininkius aukštoje temperatūroje, pvz., greito terminio apdorojimo (RTP) ir oksidacijos procesuose, didelis silicio karbido keraminės dangos šilumos laidumas leidžia tolygiai paskirstyti temperatūrą įrangos viduje. Tai padeda sumažinti šiluminį įtempį ir medžiagos deformaciją, kurią sukelia temperatūros svyravimai, taip pagerinant gaminio gamybos tikslumą ir nuoseklumą.

Palaikykite sudėtingą proceso aplinką: Procesuose, kuriems reikalinga sudėtinga atmosferos kontrolė, pvz., ICP ėsdinimo ir PSS ėsdinimo procesai, silicio karbido keraminės dangos šildytuvo stabilumas ir atsparumas oksidacijai užtikrina stabilų įrangos veikimą ilgą laiką, sumažinant medžiagos ar įrangos gedimo riziką. žalą dėl aplinkos pokyčių.

„Vetek“ puslaidininkisorientuojasi į didelio našumo gamybą ir tiekimąSilicio karbido keraminė danga, ir yra įsipareigojusi teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei.Mes nuoširdžiai tikimės būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Pagrindinės fizinės savybėsSilicio karbido keraminė danga:

„VeTek“ puslaidininkinių silicio karbido keraminių dangų parduotuvės:

Puslaidininkinių lustų epitaksijos pramonės grandinės apžvalga: