VeTek Semiconductor yra jūsų novatoriškas partneris puslaidininkių apdorojimo srityje. Turėdami platų puslaidininkinių silicio karbido keramikos medžiagų derinių, komponentų gamybos galimybių ir taikomųjų programų inžinerijos paslaugų asortimentą, galime padėti jums įveikti didelius iššūkius. Inžinerinė techninė silicio karbido keramika yra plačiai taikoma puslaidininkių pramonėje dėl savo išskirtinių medžiagų savybių. „VeTek Semiconductor“ itin gryna silicio karbido keramika dažnai naudojama per visą puslaidininkių gamybos ir apdorojimo ciklą.
„VeTek Semiconductor“ siūlo sukonstruotus keramikos komponentus, specialiai sukurtus paketinės difuzijos ir LPCVD reikalavimams, įskaitant:
• Reflektoriai ir laikikliai
• Purkštukai
• Įdėklai ir proceso vamzdžiai
• Silicio karbido konsolinės mentelės
• Vaflinės valtys ir pjedestalai
SiC konsolinis irklas SiC proceso vamzdžiai Silicio karbido proceso vamzdis SiC vertikali vaflinė valtis SiC horizontali vaflinė valtis SiC horizontals quare vaflinė valtis SiC LPCVD vaflinė valtis SiC horizontalios plokštės valtis SiC apvali vaflinė valtis
Sumažinkite užteršimą ir neplanuotą techninę priežiūrą naudodami didelio grynumo komponentus, sukurtus plazminio ėsdinimo apdorojimo sudėtingumui, įskaitant:
Fokusavimo žiedai
Purkštukai
Skydai
Dušo galvutės
Langai / dangčiai
Kiti pasirinktiniai komponentai
„VeTek Semiconductor“ siūlo pažangius medžiagų komponentus, pritaikytus puslaidininkių pramonės aukštoje temperatūroje terminiam apdorojimui. Šios programos apima RTP, Epi procesus, difuziją, oksidaciją ir atkaitinimą. Mūsų techninė keramika sukurta taip, kad atlaikytų šiluminius smūgius, užtikrinant patikimą ir pastovų veikimą. Naudodami VeTek Semiconductor komponentus, puslaidininkių gamintojai gali pasiekti efektyvų ir kokybišką terminį apdorojimą, taip prisidedant prie bendros puslaidininkių gamybos sėkmės.
• Difuzoriai
• Izoliatoriai
• Susceptoriai
• Kiti individualūs šiluminiai komponentai
Perkristalizuoto silicio karbido fizinės savybės | |
Nuosavybė | Tipinė vertė |
Darbinė temperatūra (°C) | 1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka) |
SiC / SiC kiekis | > 99,96 % |
Si / Nemokamas Si turinys | < 0,1 % |
Tūrinis tankis | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tariamas poringumas | < 16 % |
Suspaudimo stiprumas | > 600 MPa |
Šalto lenkimo stiprumas | 80–90 MPa (20 °C) |
Karštas lenkimo stiprumas | 90–100 MPa (1400 °C) |
Šiluminis plėtimasis @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Šilumos laidumas @1200°C | 23 W/m•K |
Tamprumo modulis | 240 GPa |
Atsparumas šiluminiam smūgiui | Be galo geras |
„VeTek Semiconductor“ teikia didelio našumo SiC proceso vamzdžius puslaidininkių gamybai. Mūsų SiC proceso vamzdžiai pasižymi oksidacijos, difuzijos procesais. Dėl aukščiausios kokybės ir meistriškumo šie vamzdžiai užtikrina stabilumą aukštoje temperatūroje ir šilumos laidumą, kad būtų galima efektyviai apdoroti puslaidininkius. Mes siūlome konkurencingas kainas ir siekiame būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ SiC konsolinis irklas yra labai aukštos kokybės produktas. Mūsų SiC konsolinis irklas paprastai naudojamas terminio apdorojimo krosnyse, skirtose silicio plokštelėms tvarkyti ir palaikyti, cheminiam nusodinimui iš garų (CVD) ir kituose puslaidininkių gamybos procesuose. Aukštos temperatūros stabilumas ir didelis SiC medžiagos šilumos laidumas užtikrina aukštą efektyvumą ir patikimumą puslaidininkių apdorojimo procese. Esame įsipareigoję teikti aukštos kokybės produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus silicio karbido plokštelių, skirtų horizontaliajai krosnei, gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turintis ilgametę MTTP ir gamybos patirtį, gali gerai kontroliuoti kokybę ir pasiūlyti konkurencingą kainą. Galite būti tikri, kad iš mūsų nusipirksite silicio karbido vaflių valtį horizontaliai krosniai.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus SiC dengtų silicio karbido plokštelių gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turintis ilgametę MTTP ir gamybos patirtį, gali gerai kontroliuoti kokybę ir pasiūlyti konkurencingą kainą. Sveiki atvykę į mūsų gamyklą ir toliau diskutuokite apie bendradarbiavimą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„VeTek Semiconductor“ silicio karbido konsolinis irklas yra svarbus puslaidininkių gamybos proceso komponentas, ypač tinkamas difuzinėms krosnims arba LPCVD krosnims, vykstančiuose aukštos temperatūros procesuose, tokiuose kaip difuzija ir RTP. Mūsų silicio karbido konsolinis irklas yra kruopščiai suprojektuotas ir pagamintas, pasižymintis puikiu atsparumu aukštai temperatūrai ir mechaniniam stiprumui, ir gali saugiai ir patikimai transportuoti plokšteles į proceso vamzdį atšiauriomis proceso sąlygomis įvairiems aukštos temperatūros procesams, tokiems kaip difuzija ir RTP. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier are important components in semiconductor processing, designed to safely hold and transport delicate silicon wafers, playing a key role in all stages of manufacturing. VeTek Semiconductor's High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier are carefully designed and manufactured to ensure excellent performance and reliability. VeTek Semiconductor is committed to providing quality products at competitive prices, and we look forward to being your long-term partner in China.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą