„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus SiC dengtų silicio karbido plokštelių gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turintis ilgametę MTTP ir gamybos patirtį, gali gerai kontroliuoti kokybę ir pasiūlyti konkurencingą kainą. Sveiki atvykę į mūsų gamyklą ir toliau diskutuokite apie bendradarbiavimą.
„VeTek Semiconductor“ yra Kinijos gamintojas ir tiekėjas, daugiausia gaminantis SiC padengtą silicio karbido valtį, turėdamas ilgametę patirtį. Tikimės užmegzti verslo santykius su jumis. SiC dengta silicio karbido plokštelė naudojama puslaidininkinėse difuzijos krosnyse, skirtose plokštelėms gabenti įvairiems aukštos temperatūros procesams, tokiems kaip jonų implantacija, difuzija ir atkaitinimas. Jis gali užtikrinti stabilią aplinką plokštelėms, užtikrindamas temperatūros vienodumą ir nuoseklumą apdorojimo metu.
SiC dengtos silicio karbido plokštelės turi didesnį atsparumą karščiui ir cheminį stabilumą, todėl jos gali veikti aukštesnėje temperatūroje ir ilgiau tarnauti. Be to, jie turi mažesnį medžiagų išgaravimo ir dujų adsorbcijos greitį, o tai padeda sumažinti priemaišų poveikį plokštelių apdorojimui.
Galime pagaminti įvairių tipų silicio karbido vaflines valtis, tokias kaip horizontali vaflinė valtis, vertikali vaflinė valtis ir bet kokias kitas pritaikytas valtis.
1. Aukštos temperatūros stabilumas
2.Cheminis inertiškumas
3. Mažas priemaišų kiekis
4.Šilumos laidumas
Perkristalizuoto silicio karbido fizinės savybės | |
Nuosavybė | Tipinė vertė |
Darbinė temperatūra (°C) | 1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka) |
SiC turinys | > 99,96 % |
Nemokamas Si turinys | < 0,1 % |
Tūrinis tankis | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tariamas poringumas | < 16 % |
Suspaudimo stiprumas | > 600 MPa |
Šalto lenkimo stiprumas | 80–90 MPa (20 °C) |
Stiprumas karštam lenkimui | 90–100 MPa (1400 °C) |
Šiluminis plėtimasis @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Šilumos laidumas @1200°C | 23 W/m•K |
Tamprumo modulis | 240 GPa |
Atsparumas šiluminiam smūgiui | Be galo geras |