VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier are important components in semiconductor processing, designed to safely hold and transport delicate silicon wafers, playing a key role in all stages of manufacturing. VeTek Semiconductor's High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier are carefully designed and manufactured to ensure excellent performance and reliability. VeTek Semiconductor is committed to providing quality products at competitive prices, and we look forward to being your long-term partner in China.
„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus lyderis Kinijos aukšto gryno silicio karbido plokštelių nešiklio gamintojas, pasižymintis aukšta kokybe ir prieinama kaina. Sveiki atvykę į mus susisiekti.
„VeTek Semiconductor“ didelio grynumo silicio karbido plokštelių laikiklis yra laikiklis, skirtas kelioms plokštelėms, siekiant maksimaliai padidinti erdvės efektyvumą proceso kameroje. Šie didelio grynumo silicio karbido plokštelių laikikliai paprastai yra stačiakampiai arba cilindriniai, o kiekvienas laikiklis turi tiksliai apdirbtus plyšius arba griovelius, kurie yra atskirti vienas nuo kito, kad tvirtai laikytų vieną plokštelę vertikalioje padėtyje. Aukšto grynumo silicio karbido plokštelių laikiklis pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, korozinėms cheminėms medžiagoms ir mechaniniam įtempimui, todėl puikiai tinka apsaugoti plokšteles nuo galimo pažeidimo. Jie gaminami iš didelio grynumo silicio karbido (SiC), kad būtų užtikrintas plokštelių vientisumas ir saugumas apdorojimo metu.
Didelio grynumo silicio karbido plokštelių laikikliai atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį sudėtinguose procesuose, tokiuose kaip difuzija, RTP ir šiluminiai laukai, tarnauja kaip stabilus plokštelių laikiklis, užtikrinantis sklandų perdavimą tarp skirtingų įrenginių ir etapų. Jo vertikali struktūra sumažina grindų plotą proceso kameroje, optimizuoja gamybos našumą ir gali efektyviai apdoroti dideles plokštelių partijas. Didelio grynumo silicio karbido plokštelių laikikliai yra žinomi dėl savo puikaus atsparumo aukštai temperatūrai, korozijai ir mechaninio stiprumo, kad apsaugotų plokšteles nuo galimų pažeidimų.
„VeTek Semiconductor“ didelio grynumo silicio karbido plokštelių laikiklis yra pagamintas iš didelio grynumo silicio karbido (SiC) ir turi puikų atsparumą aukštai temperatūrai, atsparumą cheminei korozijai ir mechaninį stiprumą, kad apsaugotų plokštelių vientisumą atšiaurioje aplinkoje. Kruopščiai suprojektuota struktūra ir tiksliai apdoroti lizdai užtikrina, kad plokštelės būtų tvirtai išdėstytos, kad atitiktų didelio tikslumo apdorojimo poreikius.
„VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti klientams aukštos kokybės produktus ir patikimą techninę pagalbą. Nesvarbu, ar vyksta plokštelių augimas, difuzija, plonos plėvelės nusodinimas ar kiti svarbūs procesai, „VeTek Semiconductor“ didelio grynumo silicio karbido plokštelių laikiklis gali atlikti svarbų vaidmenį užtikrinant gamybos proceso stabilumą ir nuoseklumą. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Perkristalizuoto silicio karbido fizinės savybės | |
Nuosavybė | Tipinė vertė |
Darbinė temperatūra (°C) | 1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka) |
SiC turinys | > 99,96 % |
Nemokamas Si turinys | < 0,1 % |
Tūrinis tankis | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tariamas poringumas | < 16 % |
Suspaudimo stiprumas | > 600 MPa |
Šalto lenkimo stiprumas | 80–90 MPa (20 °C) |
Karštas lenkimo stiprumas | 90–100 MPa (1400 °C) |
Šiluminis plėtimasis @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Šilumos laidumas @1200°C | 23 W/m•K |
Tamprumo modulis | 240 GPa |
Atsparumas šiluminiam smūgiui | Be galo geras |