„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus silicio karbido plokštelių, skirtų horizontaliajai krosnei, gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turintis ilgametę MTTP ir gamybos patirtį, gali gerai kontroliuoti kokybę ir pasiūlyti konkurencingą kainą. Galite būti tikri, kad iš mūsų nusipirksite silicio karbido vaflių valtį horizontaliai krosniai.
Aukštos kokybės silicio karbido valtį horizontaliai krosniai siūlo Kinijos gamintojas VeTek Semiconductor. Pirkite silicio karbido vaflinę valtį horizontaliai krosniai, kuri yra aukštos kokybės tiesiai iš gamyklos už žemą kainą. Silicio karbido vaflinė valtis horizontaliai krosniai naudojama krosnies vamzdeliuose, skirtuose plokštelėms pakrauti ir pernešti apdorojimo aukštoje temperatūroje metu. Dėl puikių silicio karbido medžiagų savybių, tokių kaip atsparumas aukštai temperatūrai, atsparumas cheminei korozijai ir terminis stabilumas, jos plačiai naudojamos įvairiuose terminio apdorojimo procesuose, tokiuose kaip difuzija, oksidacija, CVD ir atkaitinimas.
1. Didelis kietumas ir atsparumas dilimui: Silicio karbido kietumas yra antras po deimantų, todėl yra labai atsparus dilimui. Tai leidžia silicio karbido valtims atlaikyti pasikartojančius mechaninius smūgius ir trintį, todėl pailgėja jų tarnavimo laikas.
2. Atsparumas aukštai temperatūrai: Silicio karbido lydymosi temperatūra yra 2730 °C, todėl silicio karbido valtys yra tinkamos aukštos temperatūros aplinkoje ir įvairiems puslaidininkių gamybos procesams, pavyzdžiui, oksidacijai ir difuzijai aukštoje temperatūroje.
3. Žemas šiluminio plėtimosi koeficientas: Silicio karbidas turi mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, kuris padeda išlaikyti matmenų stabilumą esant aukštai temperatūrai, neleidžia deformuotis valties ir turi įtakos plokštelių apdorojimo tikslumui.
4. Geras cheminis stabilumas: silicio karbidas yra atsparus daugumai cheminių medžiagų ir nereaguoja su įprastais rūgščių ir šarmų tirpalais, užtikrinant plokštelių saugumą ir švarą.
Galime pagaminti įvairių tipų silicio karbido vaflines valtis, tokias kaip horizontali vaflinė valtis, vertikali vaflinė valtis ir bet kokias kitas pritaikytas valtis.
Perkristalizuoto silicio karbido fizinės savybės | |
Nuosavybė | Tipinė vertė |
Darbinė temperatūra (°C) | 1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka) |
SiC turinys | > 99,96 % |
Nemokamas Si turinys | < 0,1 % |
Tūrinis tankis | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tariamas poringumas | < 16 % |
Suspaudimo stiprumas | > 600 MPa |
Šalto lenkimo stiprumas | 80–90 MPa (20 °C) |
Karštas lenkimo stiprumas | 90–100 MPa (1400 °C) |
Šiluminis plėtimasis @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Šilumos laidumas @1200°C | 23 W/m•K |
Tamprumo modulis | 240 GPa |
Atsparumas šiluminiam smūgiui | Nepaprastai geras |
Silicio karbido plokštelė, skirta horizontalioms krosnims, plačiai naudojama puslaidininkių ir fotoelektros pramonėje:
Vaflių valymas ir ėsdinimas
Difuzija ir oksidacija
Galvanizavimas ir ėsdinimas
Cheminis mechaninis poliravimas (CMP)
Karščio gydymas
Vaflių perkėlimas ir saugojimas