SiC padengtas statinės susceptorius

„VeTek Semiconductor“ siūlo išsamų komponentų sprendimų rinkinį, skirtą LPE silicio epitaksijos reakcijos kameroms, užtikrinantį ilgą tarnavimo laiką, stabilią kokybę ir pagerintą epitaksinio sluoksnio išeigą. Mūsų gaminys, pvz., SiC Coated Barrel Susceptor, gavo klientų atsiliepimų apie padėtį. Taip pat teikiame techninę pagalbą Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy ir kt. Nedvejodami teiraukitės informacijos apie kainas.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti Kinijos SiC dangų ir TaC dangų gamintoja, tiekėja ir eksportuotoja. Siekdami tobulos gaminių kokybės, kad mūsų SiC dengtas statinės susceptorius būtų patenkintas daugelio klientų. Ekstremalus dizainas, kokybiškos žaliavos, didelis našumas ir konkurencinga kaina yra tai, ko nori kiekvienas klientas, o mes taip pat galime jums tai pasiūlyti. Žinoma, taip pat svarbu yra mūsų puikus aptarnavimas po pardavimo. Jei jus domina mūsų SiC Coated Barrel Susceptor paslaugos, galite pasikonsultuoti su mumis dabar, mes jums atsakysime laiku!

„VeTek Semiconductor SiC Coated Barrel Susceptor“ daugiausia naudojamas LPE Si EPI reaktoriams.

LPE (Liquid Phase Epitaxy) silicio epitaksija yra dažniausiai naudojama puslaidininkinio epitaksinio augimo technika, skirta ploniems vienakristalinio silicio sluoksniams nusodinti ant silicio substratų. Tai skystosios fazės augimo metodas, pagrįstas cheminėmis reakcijomis tirpale, siekiant kristalų augimo.

Pagrindinis LPE silicio epitaksijos principas apima substrato panardinimą į tirpalą, kuriame yra norima medžiaga, temperatūros ir tirpalo sudėties kontrolę, leidžiančią medžiagai tirpale augti kaip vieno kristalo silicio sluoksniui ant pagrindo paviršiaus. Koreguojant augimo sąlygas ir tirpalo sudėtį epitaksinio augimo metu galima pasiekti norimą kristalų kokybę, storį ir dopingo koncentraciją.

LPE silicio epitaksija turi keletą savybių ir pranašumų. Pirma, tai gali būti atliekama palyginti žemoje temperatūroje, sumažinant šiluminį įtempį ir priemaišų difuziją medžiagoje. Antra, LPE silicio epitaksija užtikrina aukštą vienodumą ir puikią kristalų kokybę, tinkančią didelio našumo puslaidininkiniams įtaisams gaminti. Be to, LPE technologija leidžia auginti sudėtingas struktūras, tokias kaip daugiasluoksnės ir heterostruktūros.

LPE silicio epitaksijoje SiC padengtas cilindrinis susceptorius yra esminis epitaksinis komponentas. Paprastai jis naudojamas išlaikyti ir palaikyti silicio substratus, reikalingus epitaksiniam augimui, tuo pačiu užtikrinant temperatūros ir atmosferos kontrolę. SiC danga padidina susceptoriaus patvarumą aukštoje temperatūroje ir cheminį stabilumą, atitinkantį epitaksinio augimo proceso reikalavimus. Naudojant SiC padengtą statinės susceptorių, galima pagerinti epitaksinio augimo efektyvumą ir nuoseklumą, užtikrinant aukštos kokybės epitaksinių sluoksnių augimą.

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės:

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės
Nuosavybė	Tipinė vertė
Kristalinė struktūra	FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
Tankis	3,21 g/cm³
Kietumas	2500 Vickers kietumas (500 g apkrova)
grūdų dydis	2 ~ 10 μm
Cheminis grynumas	99,99995 %
Šilumos talpa	640 J·kg-1·K-1
Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
Lankstumo stiprumas	415 MPa RT 4 taškų
Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
Šilumos laidumas	300W·m-1·K-1
Šiluminė plėtra (CTE)	4,5×10-6K-1