SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus SiC dengto grafito statinės, skirtos EPI, gamintojas, tiekėjas ir eksportuotojas. Palaikoma profesionalios komandos ir pirmaujančių technologijų, „VeTek Semiconductor“ gali suteikti jums aukštą kokybę už priimtiną kainą. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje ir toliau aptarti.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„VeTek Semiconductor“ yra Kinijos gamintojas ir tiekėjas, daugiausia gaminantis SiC dengtą grafito statinės susceptorių EPI, turėdamas ilgametę patirtį. Tikimės užmegzti verslo santykius su jumis. EPI (epitaksija) yra labai svarbus procesas pažangių puslaidininkių gamyboje. Tai apima plonų medžiagos sluoksnių nusodinimą ant pagrindo, kad būtų sukurtos sudėtingos įrenginio struktūros. SiC dengti grafito statinės susceptoriai, skirti EPI, dėl puikaus šilumos laidumo ir atsparumo aukštoms temperatūroms dažniausiai naudojami kaip suskeptoriai EPI reaktoriuose. Su CVD-SiC danga jis tampa atsparesnis užteršimui, erozijai ir šiluminiam smūgiui. Dėl to pailgėja susceptoriaus tarnavimo laikas ir pagerėja plėvelės kokybė.

Mūsų SiC dengto grafito statinės susceptoriaus privalumai:

Sumažintas užterštumas: SiC inertiškumas neleidžia priemaišoms prilipti prie susceptoriaus paviršiaus, todėl sumažėja nusodintų plėvelių užteršimo rizika.

Padidėjęs atsparumas erozijai: SiC yra žymiai atsparesnis erozijai nei įprastas grafitas, todėl susceptoriaus tarnavimo laikas yra ilgesnis.

Pagerintas terminis stabilumas: SiC turi puikų šilumos laidumą ir gali atlaikyti aukštą temperatūrą be didelių iškraipymų.

Patobulinta plėvelės kokybė: dėl geresnio terminio stabilumo ir sumažinto užterštumo gaunamos aukštesnės kokybės nusodintos plėvelės, kurios pagerina vienodumą ir storio kontrolę.

Programos:

SiC dengti grafito statinės susceptoriai yra plačiai naudojami įvairiose EPI programose, įskaitant:

GaN pagrindu pagaminti šviesos diodai

Galios elektronika

Optoelektroniniai prietaisai

Aukšto dažnio tranzistoriai

Jutikliai

SiC padengto grafito statinės susceptoriaus gaminio parametras

Izostatinio grafito fizikinės savybės
Nuosavybė	Vienetas	Tipinė vertė
Tūrinis tankis	g/cm³	1.83
Kietumas	HSD	58
Elektrinė varža	mΩ.m	10
Lankstumo stiprumas	MPa	47
Suspaudimo stiprumas	MPa	103
Tempimo stiprumas	MPa	31
Youngo modulis	GPa	11.8
Šiluminė plėtra (CTE)	10-6K-1	4.6
Šilumos laidumas	W·m-1·K-1	130
Vidutinis grūdų dydis	μm	8-10
Poringumas	%	10
Pelenų turinys	ppm	≤10 (po išgryninimo)

Pastaba: prieš dengimą atliksime pirmąjį valymą, po dengimo atliksime antrą valymą.

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės
Nuosavybė	Tipinė vertė
Kristalinė struktūra	FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
Tankis	3,21 g/cm³
Kietumas	2500 Vickers kietumas (500 g apkrova)
grūdų dydis	2 ~ 10 μm
Cheminis grynumas	99,99995 %
Šilumos talpa	640 J·kg-1·K-1
Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
Lankstumo stiprumas	415 MPa RT 4 taškų
Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
Šilumos laidumas	300W·m-1·K-1
Šiluminė plėtra (CTE)	4,5×10-6K-1

„VeTek“ puslaidininkių gamybos parduotuvė

Hot Tags: SiC dengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI, Kinija, gamintojas, tiekėjas, gamykla, pritaikytas, pirkti, pažangus, patvarus, pagamintas Kinijoje