Namai > Produktai > Silicio karbido danga > Silicio epitaksija > SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI
SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI
  • SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPISiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI
  • SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPISiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI
  • SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPISiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI

SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus SiC dengto grafito statinės, skirtos EPI, gamintojas, tiekėjas ir eksportuotojas. Palaikoma profesionalios komandos ir pirmaujančių technologijų, „VeTek Semiconductor“ gali suteikti jums aukštą kokybę už priimtiną kainą. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje ir toliau aptarti.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„VeTek Semiconductor“ yra Kinijos gamintojas ir tiekėjas, daugiausia gaminantis SiC dengtą grafito statinės susceptorių EPI, turėdamas ilgametę patirtį. Tikimės užmegzti verslo santykius su jumis. EPI (epitaksija) yra labai svarbus procesas pažangių puslaidininkių gamyboje. Tai apima plonų medžiagos sluoksnių nusodinimą ant pagrindo, kad būtų sukurtos sudėtingos įrenginio struktūros. SiC dengti grafito statinės susceptoriai, skirti EPI, dėl puikaus šilumos laidumo ir atsparumo aukštoms temperatūroms dažniausiai naudojami kaip suskeptoriai EPI reaktoriuose. Su CVD-SiC danga jis tampa atsparesnis užteršimui, erozijai ir šiluminiam smūgiui. Dėl to pailgėja susceptoriaus tarnavimo laikas ir pagerėja plėvelės kokybė.


Mūsų SiC dengto grafito statinės susceptoriaus privalumai:

Sumažintas užterštumas: SiC inertiškumas neleidžia priemaišoms prilipti prie susceptoriaus paviršiaus, todėl sumažėja nusodintų plėvelių užteršimo rizika.

Padidėjęs atsparumas erozijai: SiC yra žymiai atsparesnis erozijai nei įprastas grafitas, todėl susceptoriaus tarnavimo laikas yra ilgesnis.

Pagerintas terminis stabilumas: SiC turi puikų šilumos laidumą ir gali atlaikyti aukštą temperatūrą be didelių iškraipymų.

Patobulinta plėvelės kokybė: dėl geresnio terminio stabilumo ir sumažinto užterštumo gaunamos aukštesnės kokybės nusodintos plėvelės, kurios pagerina vienodumą ir storio kontrolę.


Programos:

SiC dengti grafito statinės susceptoriai yra plačiai naudojami įvairiose EPI programose, įskaitant:

GaN pagrindu pagaminti šviesos diodai

Galios elektronika

Optoelektroniniai prietaisai

Aukšto dažnio tranzistoriai

Jutikliai


SiC padengto grafito statinės susceptoriaus gaminio parametras

Izostatinio grafito fizikinės savybės
Nuosavybė Vienetas Tipinė vertė
Tūrinis tankis g/cm³ 1.83
Kietumas HSD 58
Elektrinė varža mΩ.m 10
Lankstumo stiprumas MPa 47
Suspaudimo stiprumas MPa 103
Tempimo stiprumas MPa 31
Youngo modulis GPa 11.8
Šiluminė plėtra (CTE) 10-6K-1 4.6
Šilumos laidumas W·m-1·K-1 130
Vidutinis grūdų dydis μm 8-10
Poringumas % 10
Pelenų turinys ppm ≤10 (po išgryninimo)

Pastaba: prieš dengimą atliksime pirmąjį valymą, po dengimo atliksime antrą valymą.


Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės
Nuosavybė Tipinė vertė
Kristalinė struktūra FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
Tankis 3,21 g/cm³
Kietumas 2500 Vickers kietumas (500 g apkrova)
grūdų dydis 2 ~ 10 μm
Cheminis grynumas 99,99995 %
Šilumos talpa 640 J·kg-1·K-1
Sublimacijos temperatūra 2700 ℃
Lankstumo stiprumas 415 MPa RT 4 taškų
Youngo modulis 430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
Šilumos laidumas 300W·m-1·K-1
Šiluminė plėtra (CTE) 4,5×10-6K-1


„VeTek“ puslaidininkių gamybos parduotuvė


Hot Tags: SiC dengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI, Kinija, gamintojas, tiekėjas, gamykla, pritaikytas, pirkti, pažangus, patvarus, pagamintas Kinijoje
Susijusi kategorija
Siųsti užklausą
Nedvejodami pateikite savo užklausą žemiau esančioje formoje. Mes jums atsakysime per 24 valandas.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept