SiC padengtas grafito tiglio deflektorius

VeTek Semiconductor turi ilgametę patirtį gaminant aukštos kokybės SiC dengtą grafito tiglio deflektorių. Mes turime savo laboratoriją medžiagų tyrimams ir plėtrai, galime palaikyti aukščiausios kokybės jūsų individualų dizainą. kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje ir aptarti daugiau.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„VeTek Semiconducotr“ yra profesionalus Kinijos SiC dengto grafito tiglio deflektoriaus gamintojas ir tiekėjas. SiC padengtas grafito tiglio deflektorius yra esminis monokristalinės krosnies įrangos komponentas, kurio užduotis yra sklandžiai nukreipti išlydytą medžiagą iš tiglio į kristalų augimo zoną, užtikrinant monokristalų augimo kokybę ir formą.

Mūsų SiC dengto grafito tiglio deflektoriaus funkcijos yra šios:

Srauto kontrolė: Czochralski proceso metu jis nukreipia išlydyto silicio srautą, užtikrindamas vienodą išlydyto silicio pasiskirstymą ir kontroliuojamą judėjimą, kad būtų skatinamas kristalų augimas.

Temperatūros reguliavimas: padeda reguliuoti temperatūros pasiskirstymą išlydytame silicyje, užtikrinant optimalias sąlygas kristalų augimui ir sumažinant temperatūros gradientus, kurie gali turėti įtakos monokristalinio silicio kokybei.

Užteršimo prevencija: Kontroliuodamas išlydyto silicio srautą, jis padeda išvengti užteršimo iš tiglio ar kitų šaltinių ir palaiko aukštą grynumą, reikalingą puslaidininkiams.

Stabilumas: Deflektorius prisideda prie kristalų augimo proceso stabilumo, sumažindamas turbulenciją ir skatindamas pastovų išlydyto silicio srautą, o tai labai svarbu norint pasiekti vienodas kristalų savybes.

Kristalų augimo palengvinimas: kontroliuojamu būdu nukreipdamas išlydytą silicį, deflektorius palengvina vieno kristalo augimą iš išlydyto silicio, o tai būtina gaminant aukštos kokybės monokristalinio silicio plokšteles, naudojamas puslaidininkių gamyboje.

SiC padengto grafito tiglio deflektorius gaminio parametras

Izostatinio grafito fizikinės savybės
Nuosavybė	Vienetas	Tipinė vertė
Tūrinis tankis	g/cm³	1.83
Kietumas	HSD	58
Elektrinė varža	mΩ.m	10
Lankstumo stiprumas	MPa	47
Suspaudimo stiprumas	MPa	103
Tempimo stiprumas	MPa	31
Youngo modulis	GPa	11.8
Šiluminė plėtra (CTE)	10-6K-1	4.6
Šilumos laidumas	W·m-1·K-1	130
Vidutinis grūdų dydis	μm	8-10
Poringumas	%	10
Pelenų turinys	ppm	≤10 (po išgryninimo)

Pastaba: prieš dengimą atliksime pirmąjį valymą, po dengimo atliksime antrą valymą.

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės
Nuosavybė	Tipinė vertė
Kristalinė struktūra	FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
Tankis	3,21 g/cm³
Kietumas	2500 Vickers kietumas (500 g apkrova)
grūdų dydis	2 ~ 10 μm
Cheminis grynumas	99,99995 %
Šilumos talpa	640 J·kg-1·K-1
Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
Lankstumo stiprumas	415 MPa RT 4 taškų
Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
Šilumos laidumas	300W·m-1·K-1
Šiluminė plėtra (CTE)	4,5×10-6K-1

„VeTek“ puslaidininkių gamybos parduotuvė

Hot Tags: SiC dengtas grafito tiglio deflektorius, Kinija, gamintojas, tiekėjas, gamykla, pritaikytas, pirkti, pažangus, patvarus, pagamintas Kinijoje