„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis SiC padengtas blynų susceptorius, skirtas LPE PE3061S 6 colių plokštelėms, gamintojas ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės SiC dengimo medžiagose. Siūlome SiC dengtą blynų susceptorių, sukurtą specialiai LPE PE3061S 6 colių plokštelėms. . Šis epitaksinis susceptorius pasižymi dideliu atsparumu korozijai, geru šilumos laidumu, geru vienodumu. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje Kinijoje.
Kaip profesionalus gamintojas, „VeTek Semiconductor“ norėtų pateikti jums aukštos kokybės SiC padengtą blynų susceptorių LPE PE3061S 6 colių plokštelėms.
„VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor“, skirtas LPE PE3061S 6 colių plokštelėms, yra svarbi įranga, naudojama puslaidininkių gamybos procesuose.
Stabilumas aukštoje temperatūroje: SiC pasižymi puikiu stabilumu aukštoje temperatūroje, išlaikant savo struktūrą ir veikimą aukštoje temperatūroje.
Išskirtinis šilumos laidumas: SiC pasižymi išskirtiniu šilumos laidumu, leidžiančiu greitai ir tolygiai perduoti šilumą, kad būtų galima greitai ir tolygiai šildyti.
Atsparumas korozijai: SiC pasižymi puikiu cheminiu stabilumu, atspari korozijai ir oksidacijai įvairiose šildymo aplinkose.
Tolygus šildymo paskirstymas: SiC padengtas plokštelių laikiklis užtikrina tolygų šildymo paskirstymą, kaitinant vaflės paviršiuje užtikrina vienodą temperatūrą.
Tinka puslaidininkių gamybai: Si epitaksinis plokštelių laikiklis plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač Si epitaksijos augimui ir kitiems aukštos temperatūros šildymo procesams.
Pagerintas gamybos efektyvumas: SiC padengtas blynų susceptorius leidžia greitai ir tolygiai kaitinti, sumažindamas kaitinimo laiką ir padidindamas gamybos efektyvumą.
Užtikrinta produkto kokybė: vienodas šildymo paskirstymas užtikrina nuoseklumą apdorojant plokšteles, todėl pagerėja produkto kokybė.
Pailgintas įrangos eksploatavimo laikas: SiC medžiaga pasižymi puikiu atsparumu karščiui ir cheminiu stabilumu, todėl pailgėja blynų susceptoriaus tarnavimo laikas.
Individualūs sprendimai: SiC dengtas susceptorius, Si epitaksinis plokštelių laikiklis gali būti pritaikytas pagal skirtingus dydžius ir specifikacijas, atsižvelgiant į klientų poreikius.
Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės | |
Turtas | Tipinė vertė |
Kristalinė struktūra | FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota |
Tankis | 3,21 g/cm³ |
Kietumas | 2500 Vickers kietumas (500 g apkrova) |
grūdų dydis | 2 ~ 10 μm |
Cheminis grynumas | 99,99995 % |
Šilumos talpa | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimacijos temperatūra | 2700 ℃ |
Lankstumo stiprumas | 415 MPa RT 4 taškų |
Youngo modulis | 430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃ |
Šilumos laidumas | 300W·m-1·K-1 |
Šiluminė plėtra (CTE) | 4,5×10-6K-1 |