SiC padengtas blynų susceptorius LPE PE3061S 6'' vafliams

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis SiC padengtas blynų susceptorius, skirtas LPE PE3061S 6 colių plokštelėms, gamintojas ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės SiC dengimo medžiagose. Siūlome SiC dengtą blynų susceptorių, sukurtą specialiai LPE PE3061S 6 colių plokštelėms. . Šis epitaksinis susceptorius pasižymi dideliu atsparumu korozijai, geru šilumos laidumu, geru vienodumu. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Kaip profesionalus gamintojas, „VeTek Semiconductor“ norėtų pateikti jums aukštos kokybės SiC padengtą blynų susceptorių LPE PE3061S 6 colių plokštelėms.

„VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor“, skirtas LPE PE3061S 6 colių plokštelėms, yra svarbi įranga, naudojama puslaidininkių gamybos procesuose.

SiC padengtas blynų susceptorius, skirtas LPE PE3061S 6 colių plokštelėms Produkto savybės:

Stabilumas aukštoje temperatūroje: SiC pasižymi puikiu stabilumu aukštoje temperatūroje, išlaikant savo struktūrą ir veikimą aukštoje temperatūroje.

Išskirtinis šilumos laidumas: SiC pasižymi išskirtiniu šilumos laidumu, leidžiančiu greitai ir tolygiai perduoti šilumą, kad būtų galima greitai ir tolygiai šildyti.

Atsparumas korozijai: SiC pasižymi puikiu cheminiu stabilumu, atspari korozijai ir oksidacijai įvairiose šildymo aplinkose.

Tolygus šildymo paskirstymas: SiC padengtas plokštelių laikiklis užtikrina tolygų šildymo paskirstymą, kaitinant vaflės paviršiuje užtikrina vienodą temperatūrą.

Tinka puslaidininkių gamybai: Si epitaksinis plokštelių laikiklis plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač Si epitaksijos augimui ir kitiems aukštos temperatūros šildymo procesams.

Produkto privalumai:

Pagerintas gamybos efektyvumas: SiC padengtas blynų susceptorius leidžia greitai ir tolygiai kaitinti, sumažindamas kaitinimo laiką ir padidindamas gamybos efektyvumą.

Užtikrinta produkto kokybė: vienodas šildymo paskirstymas užtikrina nuoseklumą apdorojant plokšteles, todėl pagerėja produkto kokybė.

Pailgintas įrangos eksploatavimo laikas: SiC medžiaga pasižymi puikiu atsparumu karščiui ir cheminiu stabilumu, todėl pailgėja blynų susceptoriaus tarnavimo laikas.

Individualūs sprendimai: SiC dengtas susceptorius, Si epitaksinis plokštelių laikiklis gali būti pritaikytas pagal skirtingus dydžius ir specifikacijas, atsižvelgiant į klientų poreikius.

SEM data and structure of CVD SIC films

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės:

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės
Turtas	Tipinė vertė
Kristalinė struktūra	FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
Tankis	3,21 g/cm³
Kietumas	2500 Vickers kietumas (500 g apkrova)
grūdų dydis	2 ~ 10 μm
Cheminis grynumas	99,99995 %
Šilumos talpa	640 J·kg-1·K-1
Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
Lankstumo stiprumas	415 MPa RT 4 taškų
Youngo modulis	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
Šilumos laidumas	300W·m-1·K-1
Šiluminė plėtra (CTE)	4,5×10-6K-1

„VeTek“ puslaidininkių gamybos parduotuvė

VeTek Semiconductor Production Shop

Puslaidininkinių lustų epitaksijos pramonės grandinės apžvalga:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: SiC padengtas blynų susceptorius, skirtas LPE PE3061S 6 colių plokštelėms, Kinija, gamintojas, tiekėjas, gamykla, pritaikytas, pirkti, pažangus, patvarus, pagamintas Kinijoje