Fizikinio garų nusodinimo dangos principai ir technologija (1/2) – „VeTek Semiconductor“

Fizinis procesasVakuuminė danga

Vakuuminis dengimas iš esmės gali būti suskirstytas į tris procesus: „plėvelės medžiagos garinimas“, „vakuuminis transportavimas“ ir „plonos plėvelės augimas“. Vakuuminio dengimo atveju, jei plėvelės medžiaga yra kieta, reikia imtis priemonių kietą plėvelę išgarinti arba sublimuoti į dujas, o tada išgarintos plėvelės medžiagos dalelės transportuojamos vakuume. Transportavimo proceso metu dalelės gali nesusidurti ir tiesiogiai pasiekti substratą arba gali susidurti erdvėje ir išsklaidytos pasiekti substrato paviršių. Galiausiai dalelės kondensuojasi ant pagrindo ir išauga į ploną plėvelę. Todėl dengimo procesas apima plėvelės medžiagos išgarinimą arba sublimaciją, dujinių atomų pernešimą vakuume ir dujinių atomų adsorbciją, difuziją, branduolių susidarymą ir desorbciją ant kieto paviršiaus.

Vakuuminių dangų klasifikacija

Atsižvelgiant į skirtingus būdus, kuriais plėvelės medžiaga keičiasi iš kietos į dujinę, ir skirtingus plėvelės medžiagos atomų transportavimo vakuume procesus, vakuuminę dangą iš esmės galima suskirstyti į keturis tipus: vakuuminis garinimas, vakuuminis purškimas, vakuuminis jonų dengimas, ir vakuuminis cheminis nusodinimas garais. Pirmieji trys metodai vadinamifizinis nusodinimas garais (PVD), o pastarasis vadinamascheminis nusodinimas garais (CVD).

Vakuuminė garinimo danga

Vakuuminis garinimas yra viena iš seniausių vakuuminio dengimo technologijų. 1887 metais R. Nahrwoldas pranešė apie platinos plėvelės paruošimą sublimuojant platiną vakuume, kuri laikoma garinimo dangos kilme. Dabar išgarinimo danga išsivystė nuo pradinės atsparios garinimo dangos iki įvairių technologijų, tokių kaip elektronų pluošto garinimo danga, indukcinė kaitinimo garinimo danga ir impulsinio lazerio garinimo danga.

Atsparus šildymasvakuuminė garinimo danga

Atsparumo garavimo šaltinis yra įrenginys, kuris naudoja elektros energiją tiesiogiai arba netiesiogiai plėvelės medžiagai šildyti. Atsparus garavimo šaltinis paprastai yra pagamintas iš metalų, oksidų arba nitridų, kurių lydymosi temperatūra yra aukšta, garų slėgis žemas, geras cheminis ir mechaninis stabilumas, pvz., volframas, molibdenas, tantalas, didelio grynumo grafitas, aliuminio oksido keramika, boro nitrido keramika ir kitos medžiagos. . Atsparių garavimo šaltinių formos daugiausia apima gijų šaltinius, folijos šaltinius ir tiglius.

Kai naudojate kaitinimo siūlų šaltinius ir folijos šaltinius, tiesiog pritvirtinkite du garavimo šaltinio galus prie gnybtų stulpelių veržlėmis. Tiglis paprastai dedamas į spiralinę vielą, o spiralinė viela yra maitinama tigliui šildyti, o tada tiglis perduoda šilumą plėvelės medžiagai.

VeTek Semiconductor yra profesionalus Kinijos gamintojasTantalo karbido danga, Silicio karbido danga, Specialus grafitas, Silicio karbido keramikairKita puslaidininkinė keramika.„VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti pažangius sprendimus įvairiems puslaidininkių pramonės dangos produktams.

Jei turite kokių nors klausimų ar reikia papildomos informacijos, nedvejodami susisiekite su mumis.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

paštas: anny@veteksemi.com