EPI gavėjas

„VeTek Semiconductor“ EPI susceptorius yra skirtas reiklioms epitaksinės įrangos programoms. Jo didelio grynumo silicio karbidu (SiC) dengta grafito struktūra užtikrina puikų atsparumą karščiui, vienodą šiluminį vienodumą, užtikrina nuoseklų epitaksinio sluoksnio storį ir atsparumą, ir ilgalaikį cheminį atsparumą. Nekantraujame su jumis bendradarbiauti.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus lyderis Kinijos EPI imtuvo, ALD planetinio imtuvo, TaC padengto grafito imtuvo gamintojas.

„VeTek Semiconductor“ EPI susceptorius yra svarbi epitaksinio augimo sudedamoji dalis puslaidininkių gamybos procese. Pagrindinė jo funkcija yra palaikyti ir šildyti plokštelę, kad ant plokštelės paviršiaus būtų tolygiai išaugintas aukštos kokybės epitaksinis sluoksnis.

„VeTek Semiconductors“ EPI susceptoriai paprastai yra pagaminti iš didelio grynumo grafito ir padengti silicio karbido (SiC) sluoksniu. Šis dizainas turi šiuos pagrindinius pranašumus:

Aukštos temperatūros stabilumas: EPI susceptorius gali išlikti stabilus esant aukštai temperatūrai, užtikrinant tolygų epitaksinio sluoksnio augimą.

Atsparumas korozijai: SiC danga turi puikų atsparumą korozijai ir gali atsispirti cheminių dujų erozijai, prailgindama padėklo tarnavimo laiką.

Šilumos laidumas: Didelis SiC medžiagos šilumos laidumas užtikrina vienodą plokštelės temperatūros pasiskirstymą kaitinant, taip pagerinant epitaksinio sluoksnio kokybę.

Šiluminio plėtimosi koeficiento atitikimas: SiC šiluminio plėtimosi koeficientas yra panašus į grafito, todėl išvengiama dangos slinkimo dėl šiluminio plėtimosi ir susitraukimo problemos.

Pagrindinės fizinės savybėsEPI gavėjas: