CVD SiC padengtas cilindrinis susceptorius

„VeTek“ puslaidininkinis CVD SiC padengtas cilindrinis susceptorius yra pritaikytasepitaksiniai procesaipuslaidininkių gamyboje ir yra idealus pasirinkimas gerinant produktų kokybę ir išeigą. Šis SiC dangos statinės susceptoriaus pagrindas turi tvirtą grafito struktūrą ir yra tiksliai padengtas SiC sluoksniu.CVD procesas, todėl jis turi puikų šilumos laidumą, atsparumą korozijai ir atsparumą aukštai temperatūrai, todėl gali veiksmingai susidoroti su atšiauria aplinka epitaksinio augimo metu.

Kodėl verta rinktis „VeTek“ puslaidininkinį CVD SiC padengtą cilindrinį susceptorių?

● Vienodas šildymas užtikrina epitaksinio sluoksnio kokybę: Puikus SiC dangos šilumos laidumas užtikrina tolygų temperatūros pasiskirstymą plokštelės paviršiuje, efektyviai sumažindamas defektus ir pagerindamas produkto išeigą.

● Prailginkite pagrindo tarnavimo laiką:SiC dangapasižymi puikiu atsparumu korozijai ir aukštai temperatūrai, o tai gali efektyviai prailginti pagrindo tarnavimo laiką ir sumažinti gamybos sąnaudas.

● Pagerinti gamybos efektyvumą: statinės konstrukcija optimizuoja plokštelių pakrovimo ir iškrovimo procesą ir pagerina gamybos efektyvumą.

● Taikoma įvairioms puslaidininkinėms medžiagoms: Ši bazė gali būti plačiai naudojama epitaksiniam įvairių puslaidininkinių medžiagų, tokių kaipSiCirGaN.

CVD SiC padengto statinės susceptoriaus privalumai:

 ●Puikus šiluminis našumas: Didelis šilumos laidumas ir terminis stabilumas užtikrina temperatūros kontrolės tikslumą epitaksinio augimo metu.

 ●Atsparumas korozijai: SiC danga gali veiksmingai atsispirti aukštos temperatūros ir korozinių dujų erozijai, prailgindama pagrindo tarnavimo laiką.

 ●Didelis stiprumas: Grafito pagrindas suteikia tvirtą atramą, kad būtų užtikrintas epitaksinio proceso stabilumas.

 ●Individualizuota paslauga: „VeTek“ puslaidininkis gali teikti pritaikytas paslaugas pagal klientų poreikius, kad atitiktų skirtingus proceso reikalavimus.

CVD SIC DENGIMO PLĖVELĖS KRISTALO STRUKTŪROS SEM DUOMENYS:

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės:

„VeTek“ puslaidininkis CVD SiC padengtų statinių susceptorių parduotuvės: