Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas

„VeTek“ puslaidininkinis tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas tapo silicio karbido (SiC) kristalu dėl savo itin aukštos temperatūros (lydymosi temperatūra apie 3880°C), puikaus terminio stabilumo, mechaninio stiprumo ir cheminio inertiškumo aukštoje temperatūroje. Nepakeičiama medžiaga augimo procese. Visų pirma, jo porėta struktūra suteikia daug techninių pranašumųkristalų augimo procesas. 

Toliau pateikiama išsami analizėTantalo karbidu padengtas akytasis grafitaspagrindinis vaidmuo:

● Pagerinkite dujų srauto efektyvumą ir tiksliai valdykite proceso parametrus

Akytojo grafito mikroporinga struktūra gali skatinti tolygų reakcijos dujų (tokių kaip karbido dujos ir azotas) pasiskirstymą, taip optimizuodama atmosferą reakcijos zonoje. Ši charakteristika gali veiksmingai išvengti vietinių dujų kaupimosi ar turbulencijos problemų, užtikrinti, kad SiC kristalai būtų tolygiai įtempti viso augimo proceso metu, o defektų dažnis yra labai sumažintas. Tuo pačiu metu porėta struktūra taip pat leidžia tiksliai reguliuoti dujų slėgio gradientus, toliau optimizuoti kristalų augimo greitį ir pagerinti produkto konsistenciją.

●  Sumažinkite šiluminės įtampos kaupimąsi ir pagerinkite kristalų vientisumą

Atliekant operacijas aukštoje temperatūroje, akytojo tantalo karbido (TaC) elastinės savybės žymiai sumažina terminio įtempio koncentraciją, kurią sukelia temperatūros skirtumai. Šis gebėjimas ypač svarbus auginant SiC kristalus, sumažinant terminio plyšio susidarymo riziką, taip pagerinant kristalų struktūros vientisumą ir apdorojimo stabilumą.

●  Optimizuoti šilumos paskirstymą ir pagerinti energijos panaudojimo efektyvumą

Tantalo karbido danga ne tik padidina akytojo grafito šilumos laidumą, bet dėl ​​poringų savybių taip pat gali tolygiai paskirstyti šilumą, užtikrinant labai tolygų temperatūros pasiskirstymą reakcijos zonoje. Toks vienodas šilumos valdymas yra pagrindinė sąlyga gaminant didelio grynumo SiC kristalą. Tai taip pat gali žymiai pagerinti šildymo efektyvumą, sumažinti energijos sąnaudas ir padaryti gamybos procesą ekonomiškesnį ir efektyvesnį.

●  Padidinkite atsparumą korozijai ir prailginkite komponentų tarnavimo laiką

Aukštos temperatūros aplinkoje esančios dujos ir šalutiniai produktai (pvz., vandenilio arba silicio karbido garų fazė) gali sukelti stiprią medžiagų koroziją. TaC danga yra puikus cheminis barjeras akytam grafitui, žymiai sumažindama komponento korozijos greitį ir taip prailgindama jo tarnavimo laiką. Be to, danga užtikrina ilgalaikį porėtos struktūros stabilumą, užtikrinančią, kad dujų transportavimo savybės nenukentės.

●  Efektyviai blokuoja nešvarumų difuziją ir užtikrina kristalų grynumą

Iš nepadengtos grafito matricos gali išsiskirti nedideli priemaišų kiekiai, o TaC danga veikia kaip izoliacinė kliūtis, neleidžianti šioms priemaišoms difunduoti į SiC kristalą aukštos temperatūros aplinkoje. Šis ekranavimo efektas yra labai svarbus siekiant pagerinti kristalų grynumą ir padėti patenkinti griežtus puslaidininkių pramonės reikalavimus aukštos kokybės SiC medžiagoms.

„VeTek“ puslaidininkių tantalo karbidu padengtas porėtasis grafitas žymiai pagerina proceso efektyvumą ir kristalų kokybę optimizuodamas dujų srautą, sumažindamas šiluminį įtempį, pagerindamas šiluminį vienodumą, padidindamas atsparumą korozijai ir slopindamas priemaišų difuziją SiC kristalų augimo proceso metu. Šios medžiagos panaudojimas ne tik užtikrina aukštą tikslumą ir grynumą gamyboje, bet ir labai sumažina eksploatacines išlaidas, todėl tai yra svarbus ramstis šiuolaikinėje puslaidininkių gamyboje.

Dar svarbiau, kad „VeTeksemi“ jau seniai įsipareigojo teikti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių gamybos pramonei ir palaiko pritaikytas tantalo karbidu dengto akytojo grafito gaminių paslaugas. Mes nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Tantalo karbido dangos fizinės savybės

„VeTek“ puslaidininkių tantalo karbidu padengto akytojo grafito gamybos cechai