Kinija Kietas silicio karbidas Gamintojas, tiekėjas, gamykla

VeTek puslaidininkinis kietasis silicio karbidas yra svarbus keramikos komponentas plazminio ėsdinimo įrangoje, kietas silicio karbidas (CVD silicio karbidas) apima ėsdinimo įrangos dalisfokusavimo žiedai, dujinio dušo galvutė, padėklas, krašto žiedai ir kt. Dėl mažo kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) reaktyvumo ir laidumo chloro ir fluoro turinčioms ėsdinimo dujoms, tai ideali medžiaga plazminio ėsdinimo įrangos fokusavimo žiedams ir kt. komponentai.

Pavyzdžiui, fokusavimo žiedas yra svarbi dalis, esanti už plokštelės ribų ir tiesiogiai susiliečianti su plokštele, kuri suteikia žiedui įtampą, kad sufokusuotų per žiedą einanti plazma, taip sufokusuojant plazmą ant plokštelės, kad būtų pagerintas plokštelės vienodumas. apdorojimas. Tradicinis fokusavimo žiedas pagamintas iš silicio arbakvarcas, laidus silicis kaip įprasta fokusavimo žiedo medžiaga, jis yra beveik artimas silicio plokštelių laidumui, tačiau trūkumas yra silpnas atsparumas ėsdymui fluoro turinčioje plazmoje, ėsdinimo mašinų dalių medžiagose, kurios dažnai naudojamos tam tikrą laiką, bus rimtų problemų. korozijos reiškinys, labai sumažinantis jo gamybos efektyvumą.

Sbuvo SiC Focus RingDarbo principas：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas:

Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas
Prekė	Ir	CVD SiC
Tankis (g/cm³)	2.33	3.21
Juostos tarpas (eV)	1.12	2.3
Šilumos laidumas (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Tamprumo modulis (GPa)	150	440
Kietumas (GPa)	11.4	24.5
Atsparumas dilimui ir korozijai	Vargšas	Puikiai

„VeTek Semiconductor“ siūlo pažangias kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) dalis, tokias kaip SiC fokusavimo žiedai puslaidininkinei įrangai. Mūsų kieto silicio karbido fokusavimo žiedai lenkia tradicinį silicį mechaniniu stiprumu, cheminiu atsparumu, šilumos laidumu, ilgaamžiškumu aukštoje temperatūroje ir atsparumu jonų ėsdinimui.

Pagrindinės mūsų SiC fokusavimo žiedų savybės::

Didelis tankis sumažina ėsdinimo greitį.

Puiki izoliacija su dideliu juostos tarpu.

Didelis šilumos laidumas ir mažas šilumos plėtimosi koeficientas.

Puikus atsparumas mechaniniams smūgiams ir elastingumas.

Didelis kietumas, atsparumas dilimui ir atsparumas korozijai.

Pagaminta naudojantplazma pagerintas cheminis nusodinimas garais (PECVD)Mūsų SiC fokusavimo žiedai atitinka didėjančius ėsdinimo procesų reikalavimus puslaidininkių gamyboje. Jie sukurti taip, kad atlaikytų didesnę plazmos galią ir energiją, ypačtalpinė plazma (CCP)sistemos.

VeTek Semiconductor SiC fokusavimo žiedai užtikrina išskirtinį našumą ir patikimumą puslaidininkinių prietaisų gamyboje. Pasirinkite mūsų SiC komponentus, kad gautumėte aukščiausios kokybės ir efektyvumo.

View as

Kieto SiC ėsdinimo fokusavimo žiedas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis kietojo SiC ėsdinimo fokusavimo žiedų gamintojas ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės SiC medžiagų gamyboje. Kietasis SiC pasirinktas kaip fokusavimo žiedo medžiaga dėl puikaus termocheminio stabilumo, didelio mechaninio stiprumo ir atsparumo plazmai. erozija. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

<1 2 3 >

Kaip profesionalus Kietas silicio karbidas gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kurios atitiktų konkrečius jūsų regiono poreikius, ar norite įsigyti pažangių ir patvarių Kietas silicio karbidas, pagamintų Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.