Kinija Kietas silicio karbidas Gamintojas, tiekėjas, gamykla

VeTek puslaidininkinis kietasis silicio karbidas yra svarbus keramikos komponentas plazminio ėsdinimo įrangoje, kietas silicio karbidas (CVD silicio karbidas) apima ėsdinimo įrangos dalisfokusavimo žiedai, dujinio dušo galvutė, padėklas, krašto žiedai ir kt. Dėl mažo kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) reaktyvumo ir laidumo chloro ir fluoro turinčioms ėsdinimo dujoms, tai ideali medžiaga plazminio ėsdinimo įrangos fokusavimo žiedams ir kt. komponentai.

Pavyzdžiui, fokusavimo žiedas yra svarbi dalis, esanti už plokštelės ribų ir tiesiogiai susiliečianti su plokštele, kuri suteikia žiedui įtampą, kad sufokusuotų per žiedą einanti plazma, taip sufokusuojant plazmą ant plokštelės, kad būtų pagerintas plokštelės vienodumas. apdorojimas. Tradicinis fokusavimo žiedas pagamintas iš silicio arbakvarcas, laidus silicis kaip įprasta fokusavimo žiedo medžiaga, jis yra beveik artimas silicio plokštelių laidumui, tačiau trūkumas yra silpnas atsparumas ėsdymui fluoro turinčioje plazmoje, ėsdinimo mašinų dalių medžiagose, kurios dažnai naudojamos tam tikrą laiką, bus rimtų problemų. korozijos reiškinys, labai sumažinantis jo gamybos efektyvumą.

Sbuvo SiC Focus RingDarbo principas：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas:

Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas
Prekė	Ir	CVD SiC
Tankis (g/cm³)	2.33	3.21
Juostos tarpas (eV)	1.12	2.3
Šilumos laidumas (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Tamprumo modulis (GPa)	150	440
Kietumas (GPa)	11.4	24.5
Atsparumas dilimui ir korozijai	Vargšas	Puikiai

„VeTek Semiconductor“ siūlo pažangias kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) dalis, tokias kaip SiC fokusavimo žiedai puslaidininkinei įrangai. Mūsų kieto silicio karbido fokusavimo žiedai lenkia tradicinį silicį mechaniniu stiprumu, cheminiu atsparumu, šilumos laidumu, ilgaamžiškumu aukštoje temperatūroje ir atsparumu jonų ėsdinimui.

Pagrindinės mūsų SiC fokusavimo žiedų savybės::

Didelis tankis sumažina ėsdinimo greitį.

Puiki izoliacija su dideliu juostos tarpu.

Didelis šilumos laidumas ir mažas šilumos plėtimosi koeficientas.

Puikus atsparumas mechaniniams smūgiams ir elastingumas.

Didelis kietumas, atsparumas dilimui ir atsparumas korozijai.

Pagaminta naudojantplazma pagerintas cheminis nusodinimas garais (PECVD)Mūsų SiC fokusavimo žiedai atitinka didėjančius ėsdinimo procesų reikalavimus puslaidininkių gamyboje. Jie sukurti taip, kad atlaikytų didesnę plazmos galią ir energiją, ypačtalpinė plazma (CCP)sistemos.

VeTek Semiconductor SiC fokusavimo žiedai užtikrina išskirtinį našumą ir patikimumą puslaidininkinių prietaisų gamyboje. Pasirinkite mūsų SiC komponentus, kad gautumėte aukščiausios kokybės ir efektyvumo.

View as

Nauja SiC kristalų augimo technologija

„Vetek Semiconductor“ itin didelio grynumo silicio karbidas (SiC), susidarantis cheminiu garų nusodinimu (CVD), gali būti naudojamas kaip žaliava silicio karbido kristalams auginti naudojant fizinį garų transportavimą (PVT). Taikant naująją SiC Crystal Growth Technology technologiją, pradinė medžiaga įkeliama į tiglį ir sublimuojama ant sėklinio kristalo. Naudokite išmestus CVD-SiC blokus, kad perdirbtumėte medžiagą kaip SiC kristalų auginimo šaltinį. Sveiki atvykę užmegzti su mumis partnerystę.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

CVD SiC dušo galvutė

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti CVD SiC dušo galvučių gamintoja ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės SiC medžiagų gamyboje. CVD SiC dušo galvutė pasirinkta kaip fokusavimo žiedo medžiaga dėl puikaus termocheminio stabilumo, didelio mechaninio stiprumo ir atsparumo dilimui. plazmos erozija. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

SiC dušo galvutė

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti SiC dušo galvutės gamintoja ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės SiC medžiagų gamyboje. SiC dušo galvutė pasirinkta kaip fokusavimo žiedo medžiaga dėl puikaus termocheminio stabilumo, didelio mechaninio stiprumo ir atsparumo plazmos erozijai. .Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

SiC padengtas cilindrinis susceptorius, skirtas LPE PE2061S

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis SiC dengtas vamzdinis susceptorius, skirtas LPE PE2061S gamintojas ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės SiC dangos medžiagoje. Siūlome SiC dengtą cilindrinį susceptorių, sukurtą specialiai LPE PE2061S 4 colių plokštelėms. Šis susceptorius turi patvarią silicio karbido dangą, kuri padidina našumą ir ilgaamžiškumą LPE (skystos fazės epitaksijos) proceso metu. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Kieto SiC dujinė dušo galvutė

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti kieto SiC dujinės dušo galvutės gamintoja ir novatorius Kinijoje. Jau daugelį metų specializuojamės puslaidininkinių medžiagų gamyboje. „VeTek Semiconductor Solid SiC“ dujinės dušo galvutės daugiasluoksnės konstrukcijos dėka CVD proceso metu susidariusi šiluma gali būti išsklaidyta. , užtikrinant, kad substratas būtų šildomas tolygiai. Tikimės, kad galėsime su jumis įsirengti ilgą laiką Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

Cheminio nusodinimo garais procesas Kieto SiC krašto žiedas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti cheminio garų nusodinimo proceso kietojo SiC krašto žiedo gamintojas ir novatorius Kinijoje. Daugelį metų specializuojamės puslaidininkinių medžiagų gamyboje. „VeTek Semiconductor“ kieto SiC krašto žiedas užtikrina geresnį ėsdinimo vienodumą ir tikslią plokštelės padėtį, kai naudojamas su elektrostatiniu griebtuvu. , užtikrinant nuoseklius ir patikimus oforto rezultatus. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Skaityti daugiau Siųsti užklausą

<1 2 3 >

Kaip profesionalus Kietas silicio karbidas gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kurios atitiktų konkrečius jūsų regiono poreikius, ar norite įsigyti pažangių ir patvarių Kietas silicio karbidas, pagamintų Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.