Kieto SiC dujinė dušo galvutė

Kieto SiC dujinė dušo galvutė

„VeTek Semiconductor“ yra integruota įmonė, skirta tyrimams, gamybai ir pardavimui. Mūsų komanda, turinti daugiau nei 20 metų patirtį, specializuojasi SiC, TaC dangų ir CVD kietojo SiC gamyboje. Sveiki atvykę iš mūsų įsigyti kieto SiC dujinės dušo galvutės.

„VeTek Semiconductor Solid SiC“ dujų dušo galvutė dažniausiai naudojama tolygiai paskirstyti pirmtakų dujas ant pagrindo paviršiaus puslaidininkinių CVD procesų metu. CVD-SiC medžiagos naudojimas dušo galvutėms suteikia keletą privalumų. Didelis šilumos laidumas padeda išsklaidyti CVD proceso metu susidariusią šilumą, užtikrinant vienodą temperatūros pasiskirstymą ant pagrindo. Be to, kieto SiC dujų dušo galvutės cheminis stabilumas leidžia jai atlaikyti korozines dujas ir atšiaurią aplinką, dažniausiai pasitaikančią CVD procesuose. CVD-SiC dušo galvučių konstrukcija gali būti pritaikyta konkrečioms CVD sistemoms ir proceso reikalavimams. Tačiau juos paprastai sudaro plokštės arba disko formos komponentas su daugybe tiksliai išgręžtų skylių arba plyšių. Skylės raštas ir geometrija yra kruopščiai suprojektuoti, kad būtų užtikrintas vienodas dujų pasiskirstymas ir srauto greitis pagrindo paviršiuje.

Fizinės kietojo SiC savybės

„VeTek“ puslaidininkių gamybos parduotuvė

Puslaidininkių epitaksijos pramonės grandinė